Proč je CO2 zaváděn během procesu waferové pily

Zavádění CO₂ do vody na kostky je významným technickým opatřením v procesu řezání plátků k potlačení akumulace statické elektřiny a snížení kontaminace, čímž se zvyšuje výtěžnost kostek a spolehlivost čipů.

Odstraňte statickou elektřinu

Theoplatkaproces kostkování vyžaduje použití vysokorychlostních rotujících diamantových kotoučů pro řezání, zatímco DI voda je rozstřikována pro chlazení a čištění. Během tohoto procesu tření vytváří velké množství statického náboje. Současně deionizovaná voda podléhá slabé ionizaci během vysokotlakého rozprašování a kolize, čímž vzniká malý počet iontů. Samotný křemíkový materiál se vyznačuje snadnou akumulací elektrického náboje. Pokud tato statická elektřina není kontrolována, její napětí může vzrůst až nad 500 V, což vede k elektrostatickému výboji. To může nejen poškodit kovové vedení obvodu nebo způsobit praskání mezivrstvy dielektrika, ale také způsobit kontaminaci plátku křemíkovým prachem v důsledku elektrostatické adsorpce nebo způsobit problémy se zvednutím spoje na lepených podložkách.

Když se CO₂ zavede do vody, rozpustí se a vytvoří H2CO3. H₂CO3 podléhá ionizaci za vzniku H⁺ a HCO₃⁻, což výrazně zvyšuje vodivost vody a zároveň účinně snižuje její měrný odpor. Tato zvýšená vodivost umožňuje rychlé vedení statického náboje do země prostřednictvím proudu vody, čímž se zabrání akumulaci náboje. Kromě toho může být CO₂ jako slabě elektronegativní plyn ionizován ve vysokoenergetických prostředích za vzniku nabitých částic (jako je CO₂⁺ a O⁻). Tyto částice mohou neutralizovat náboj nesený povrchy plátků nebo prachem, čímž snižují riziko elektrostatické adsorpce a elektrostatického výboje.

Snižte kontaminaci a chraňte povrchy

Silikonový prach vznikající běhemoplatkaProces pily je náchylný na akumulaci statické elektřiny, která se může přilepit na plátek nebo povrch zařízení a způsobit kontaminaci. Současně, pokud je chladicí voda alkalická, způsobí kovové částice (jako jsou ionty Fe, Ni a Cr v nerezové oceli) tvoření hydroxidových sraženin. Hydroxidové precipitáty se budou usazovat na povrchu plátku nebo v kanálcích na kostičky, což ovlivní kvalitu třísek.

Když je CO₂ zaveden, neutralizuje elektrické náboje a oslabuje elektrostatickou sílu mezi prachem a povrchy. Proud vzduchu CO₂ mezitím zabraňuje sekundární adhezi rozptýlením prachu v oblasti řezání. Přidání CO₂ také vytváří mírně kyselé prostředí, které zabraňuje srážení kovových iontů, udržuje je rozpuštěné a umožňuje toku vody je odvádět pryč. Navíc, protože CO₂ je inertní plyn, snižuje kontakt mezi křemíkovým prachem a kyslíkem, zabraňuje oxidaci prachu a aglomeraci a dále zlepšuje čistotu řezného prostředí.

Semicorex nabízí vysokou kvalituoplatkypro naše vážené zákazníky. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com