Co je to difuzní pec?

Difuzní pec je specializované zařízení používané k řízenému zavádění nečistot do polovodičových destiček. Tyto nečistoty, nazývané dopanty, mění elektrické vlastnosti polovodičů, což umožňuje výrobu různých typů elektronických součástek. Tento proces řízené difúze je rozhodující pro výrobu tranzistorů, diod a integrovaných obvodů.

Difuzní pece se skládají z několika klíčových součástí, včetně procesních trubek, topných prvků, mechanismů nasávání vzduchu a řídicích systémů. Procesní trubice funguje jako komora, kde je umístěn wafer. Dokáže odolat vysokým teplotám a korozivním plynům, což z něj činí ideální materiál pro tuto aplikaci.

Topná tělesa poskytují potřebné teplo ke zvýšení teploty pece na požadovanou úroveň. Teploty v difuzních pecích jsou typicky až 1200 °C. Aby se zajistilo rovnoměrné zahřívání, jsou topná tělesa často uspořádána ve tvaru šroubovice.

Mechanismus přívodu plynu se používá k zavedení dotovacího plynu do pece. Mezi běžné příměsi patří bór, fosfor a arsen v závislosti na požadovaných elektrických vlastnostech konečného polovodičového produktu. Řídicí systém reguluje tok dopovacího plynu a udržuje přesnou kontrolu nad procesem difúze.

Difuzní pece jsou široce používány v polovodičovém průmyslu. Používají se v dopingovém procesu, který vytváří pn přechody v tranzistorech a diodách. Difuzní pece také hrají zásadní roli při výrobě integrovaných obvodů, kde je naskládáno a propojeno více vrstev různých polovodičů.

Kromě toho jsou difuzní pece nezbytné pro výrobu pokročilých polovodičových zařízení, jako jsou výkonové MOSFETy (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Tranzistor) a bipolární tranzistory s izolovaným hradlem (IGBT). Tato zařízení jsou tak zásadní v oblasti výkonové elektroniky a technologie obnovitelných zdrojů energie, že difúzní pece jsou nedílnou součástí jejich výroby.

Difuzní pece jsou kritickými nástroji ve výrobě polovodičů, které umožňují řízené zavádění příměsí do polovodičových destiček. Tyto pece jsou nedílnou součástí výroby různých polovodičových součástek jako jsou tranzistory, diody a integrované obvody. Jak technologie postupuje, schopnosti difuzních pecí se neustále zvyšují, což umožňuje přesnější a spolehlivější výrobní procesy. Polovodičový průmysl se silně spoléhá na tyto pece, aby uspokojil rostoucí poptávku po pokročilých elektronických zařízeních.

Semicorex vyrábí na míru vyrobené SiC díly pro difúzní pece. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com