Metody růstu krystalů AlN

AlN jako polovodičový materiál třetí generace je nejen důležitým materiálem pro modré a ultrafialové světlo, ale také důležitým obalovým, dielektrickým izolačním a izolačním materiálem pro elektronická zařízení a integrované obvody, zvláště vhodný pro vysokoteplotní a výkonná zařízení. . Kromě toho mají AlN a GaN dobrou tepelnou shodu a chemickou kompatibilitu, AlN použitý jako epitaxní substrát GaN může výrazně snížit hustotu defektů v zařízeních GaN a zlepšit výkon zařízení.

Vzhledem k atraktivním aplikačním vyhlídkám se přípravě vysoce kvalitních, velkorozměrových krystalů AlN dostalo velké pozornosti výzkumníků doma i v zahraničí. V současné době se krystaly AlN připravují roztokovou metodou, přímou nitridací kovového hliníku, hydridovou epitaxí v plynné fázi a fyzikálním transportem v parní fázi (PVT). Mezi nimi se metoda PVT stala hlavní technologií pro pěstování krystalů AlN s vysokou rychlostí růstu (až 500-1000 μm/h) a vysokou kvalitou krystalů (hustota dislokací pod 103 cm-2).

Růst krystalů AlN metodou PVT se provádí sublimací, transportem v plynné fázi a rekrystalizací prášku AlN a teplota prostředí růstu je až 2 300 ℃. Základní princip pěstování krystalů AlN metodou PVT je poměrně jednoduchý, jak ukazuje následující rovnice:

2AlN(s) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

Hlavní kroky procesu růstu jsou následující: (1) sublimace surového prášku AlN; (2) přeprava složek suroviny v plynné fázi; (3) adsorpce složek plynné fáze na růstovém povrchu; (4) povrchová difúze a nukleace; a (5) desorpční proces [10]. Krystaly AlN se za standardního atmosférického tlaku začnou pomalu rozkládat na páru Al a dusík až při teplotě asi 1 700 ℃ a rozkladná reakce AlN rychle zesílí, když teplota dosáhne 2 200 ℃.

Materiál TaC je skutečný používaný kelímkový materiál pro růst krystalů AlN s vynikajícími fyzikálními a chemickými vlastnostmi, vynikající tepelnou a elektrickou vodivostí, odolností proti chemické korozi a dobrou odolností proti tepelnému šoku, což může účinně zlepšit efektivitu výroby a životnost.

Semicorex nabízí vysokou kvalituTaC povlakové produktys přizpůsobenou službou. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com