Povlak v tepelném poli polovodičových monokrystalů křemíku

Potažené části v horkém poli polovodičového křemíkového monokrystalu jsou obecně potaženy metodou CVD, včetně pyrolytického uhlíkového povlaku,Povlak z karbidu křemíkuaPovlak z karbidu tantalu, každý s jinými vlastnostmi.

Společné body: substrátem je vysoce čistý izostatický grafit, obecně méně než 5 ppm popela; povlaky se používají CVD metoda; povlak je v podstatě 100% uhlík nebo karbid křemíku; po potažení je povrch relativně hustý, plyn, zejména pecní pára křemíku nebo plynný oxid křemíku, může být v podstatě blokován; jeho vlastní těkání prachu je také velmi malé.

Rozdíly: standardní tloušťka povlaku, pyrolytický uhlíkový povlak je obecně asi 40 um; Povlak z karbidu křemíku se obecně provádí asi 100 um, ale podle různých potřeb zákazníků lze provést 30 um ~ 150 um, včetně jednoho povlaku a dvou povlaků; povlak karbidu tantalu je obecně 35±15um.

Pyrolytický uhlíkový povlak, jeho hustota je ekvivalentní hustotě neporézního grafitu, což je asi 2,2. Má nízký měrný odpor a vysokou tepelnou vodivost v rovnoběžném směru povrchu, takže dokáže udržet konzistenci povrchové teploty, má také nízký koeficient tepelné roztažnosti a vysoký modul pružnosti. V kolmém směru plochy je součinitel tepelné roztažnosti větší a tepelná vodivost nižší.

U výrobků potažených karbidem křemíku je modul pružnosti povlaku velmi vysoký, desítkykrát vyšší než modul pružnosti vnitřního grafitového substrátu, takže aby nedošlo k prasknutí produktu, je třeba s ním zacházet opatrně.

Pyrolytický uhlíkový povlak a povlak karbidu křemíku s obsahem všech nečistot je nižší než 5 ppm, kde obsah hlavního kovového prvku je nižší než 0,1 nebo 0,01 ppm, tím obtížnější je vypořádat se s prvkem boru 0,01 nebo 0,15 ppm.

Semicorex nabízí vysoce kvalitní CVD povlak pro polovodiče s přizpůsobeným servisem. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com