Různé aplikace křemene ve výrobě polovodičů

Na první pohled,křemenný (SiO2) materiálvypadá velmi podobně jako sklo, ale zvláštní je, že běžné sklo se skládá z mnoha složek (jako je křemenný písek, borax, kyselina boritá, baryt, uhličitan barnatý, vápenec, živec, soda atd.), zatímco křemen obsahuje pouze SiO2 a jeho mikrostruktura je jednoduchá síť složená z tetraedrických strukturních jednotek oxidu křemičitého.

Protože množství kovových nečistot obsažených vkřemenje velmi malý a jeho čistota je extrémně vysoká, samotný křemen má vlastnosti a výhody, které jiná skla vykazovat nemohou, a je známý jako "koruna" skleněných materiálů. Například pokud jde o tepelnou odolnost, křemen nevybuchne ani v případě, že se po spálení v ohni ihned vloží do vody. Konkrétnější výhody jsou následující:

1. Vysoká teplotní odolnost. Bod měknutí křemenného skla je asi 1730 ℃ a lze jej používat po dlouhou dobu při 1150 ℃ a maximální teplota může krátkodobě dosáhnout 1450 ℃.

2. Odolnost proti korozi. Kromě kyseliny fluorovodíkové nemá vysoce čistý křemen téměř žádnou chemickou reakci s jinými kyselými látkami. Při vysokých teplotách může odolat korozi způsobené kyselinou sírovou, dusičnou, kyselinou chlorovodíkovou, aqua regia, neutrálními solemi, uhlíkem a sírou. Jeho odolnost vůči kyselinám je 30krát větší než u keramiky a 150krát větší než u nerezové oceli. Zejména jeho chemická stabilita při vysokých teplotách je nesrovnatelná s jinými strojírenskými materiály.

3. Dobrá tepelná stabilita. Vysoce čistý křemen má velmi malý koeficient tepelné roztažnosti a snese prudké změny teplot. Když se vysoce čistý křemen zahřeje na asi 1100 °C, neexploduje, když se umístí do vody o pokojové teplotě.

4. Dobrá propustnost světla. Vysoce čistý křemen má dobrou propustnost světla v celém spektru od ultrafialového po infračervené a propustnost viditelného světla je nad 93%, zejména v oblasti ultrafialového spektra může maximální propustnost dosáhnout více než 80%.

5. Dobrý elektrický izolační výkon. Hodnota odporu vysoce čistého křemene je ekvivalentní 10 000násobku odporu běžného křemenného skla. Je to vynikající elektroizolační materiál a má dobré elektrické vlastnosti i při vysokých teplotách.

Díky těmto vynikajícím fyzikálním a chemickým vlastnostem jsou vysoce čisté křemenné materiály široce používány v moderní elektronické technologii, polovodičích, komunikacích, elektrických světelných zdrojích, sluneční energii, vysoce přesných měřících přístrojích národní obrany, laboratorních fyzikálních a chemických přístrojích, jaderné energetice, nanoprůmysl atd. Zejména v rychle se rozvíjejícím polovodičovém průmyslu se zvětšuje rozsah křemíkových waferů, takže výrobci čipů mají velkou poptávku po různých křemenných součástkách. Je však třeba také poznamenat, že aby se zabránilo kontaminaci během procesu zpracování, musí být během používání zajištěna vysoká čistota křemenného materiálu.

In the semiconductor industry,křemenje široce používán a vysoce čisté křemenné produkty jsou důležitým spotřebním materiálem při výrobě plátků. Křemenné díly, jako jsou kelímky, křišťálové čluny a trubky jádra difuzních pecí používané k výrobě křemíkových monokrystalů, musí používat výrobky z křemenného skla o vysoké čistotě. Hlavním cílovým trhem aplikace křemenných dílů v oblasti polovodičů je proces difúze a leptání ve slévárně destiček. Lze je rozdělit do dvou kategorií: zařízení pro vysokoteplotní zóny a zařízení pro nízkoteplotní zóny. Hlavní používaná zařízení jsou následující:

1. Zařízení pro vysokoteplotní zóny jsou zejména pecní trubky, skleněné čluny atd. používané při difúzní oxidaci a další články, které musí být přímo nebo nepřímo v kontaktu s křemíkovými plátky ve vysokoteplotním prostředí; jsou to převážně nakupované materiály z taveného křemenného skla a vyráběné tepelným zpracováním;

2. Zařízení pro nízkoteplotní zóny zahrnují především křemenné kroužky používané v procesu leptání, stejně jako květinové koše a čisticí nádrže používané v procesu čištění. Používají se především v prostředí s nízkou teplotou. Odebírají převážně plynem rafinované křemenné sklo a vyrábí se zpracováním za studena.

Semicorex nabízí vysokou kvalitukřemenné dílyna úrovni polovodičů. Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com