Procesy žíhání v moderní výrobě polovodičů

Vzhledem k tomu, že se technologické uzly stále zmenšují, představuje vytváření ultra mělkých spojů značné problémy. Procesy tepelného žíhání včetněRychlé tepelné žíhání (RTA)a žíhání zábleskové lampy (FLA) jsou životně důležité techniky, které udržují vysokou míru aktivace nečistot a zároveň minimalizují difúzi a zajišťují optimální výkon zařízení.

1. Tvorba ultra mělkých křižovatek:

S tím, jak se technologické uzly zmenšují, je vytváření ultra mělkých spojů stále náročnější. Techniky jako rychlé tepelné žíhání (RTA) a žíhání zábleskové lampy (FLA) jsou klíčové pro dosažení vysoké rychlosti aktivace nečistot při minimalizaci difúze, čímž je zajištěn optimální výkon zařízení.

2. Modifikace High-k hradlových dielektrik:

Post-deposition annealing (PDA) výrazně zlepšuje elektrické vlastnosti dielektrik s vysokým k hradlem. Tento proces snižuje svodové proudy hradla a zvyšuje dielektrické konstanty, které jsou životně důležité pro pokročilá logická a paměťová zařízení.

3. Tvorba kovových silicidů:

Optimalizace silicidů kovů, jako jsou CoSi a NiSi, je nezbytná pro zlepšení kontaktní a objemové odolnosti. Přesná kontrola podmínek žíhání usnadňuje vytváření ideálních slitinových fází a zvyšuje celkovou účinnost zařízení.

4. Technologie 3D integrace:

V technologiích jako 3D NAND a 3D DRAM musí být procesy žíhání aplikovány ve více vrstvách. Rychlé tepelné techniky hrají klíčovou roli při zajištění optimálního výkonu každé vrstvy.

Žíhání je kritické při výrobě polovodičů, umožňuje opravu poškození mřížky, aktivaci nečistot, úpravu filmu a tvorbu silicidu kovů prostřednictvím přesné kontroly teploty, času a tepelných rozpočtů. Jak se technologické uzly zmenšují, pokročilé metody žíhání jakoRTA, FLA a laserové žíhání se staly hlavním proudem. Při pohledu do budoucna se proces žíhání bude nadále inovovat, aby vyhovoval požadavkům vznikajících materiálů a zařízení.

Semicorex nabízí špičku v oboružíhací roztokyzajišťuje, že vaše polovodičová zařízení splňují nejvyšší výkonové standardy s přesností a spolehlivostí.

Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com