Struktura elektrostatického sklíčidla (ESC)

AnElektrostatické sklíčidlo (ESC)je zařízení používané k držení polovodičových destiček na místě během procesů, jako je leptání, nanášení nebo leštění. Funguje tak, že generuje elektrostatické pole, které přitahuje a bezpečně drží destičku na povrchu sklíčidla, což zajišťuje stabilitu a přesné vyrovnání během manipulace s destičkami. ESC jsou široce používány ve výrobě polovodičů ke zlepšení přesnosti procesu a účinnosti manipulace s destičkami.

Skutečný obraz konvenčníhoelektrostatické sklíčidlo (ESC)je znázorněn na obrázku. Primární rozdíl mezi modely spočívá v materiálu izolační vrstvy na povrchu elektrostatického upínače. Na obrázku tmavá barva představuje nitrid hliníku, zatímco bílá barva představuje oxid hlinitý. Strukturaelektrostatické sklíčidlose skládá z několika částí:

1. **Izolační vrstva**: Tato vrstva je v kontaktu s plátkem, obvykle vyrobena z nitridu hliníku nebo keramiky z oxidu hlinitého díky jejich vynikající mechanické pevnosti, odolnosti vůči vysokým teplotám a dobré tepelné vodivosti.

2. **Kolík vyhazovače a otvor pro plyn**: Kolík vyhazovače je určen k přenášení plátku. Když plátek vstoupí do leptací komory, vyhazovací kolík se zvedne, aby jej podepřel, a poté se spustí, aby se plátek umístil na povrch elektrostatického upínače. Ejektorový kolík má obvykle dutou strukturu, která umožňuje zavádění plynu helia, které pomáhá ochladit plátek.

3. **Back He Flow Channel**: Tato součást zlepšuje odvod tepla a usnadňuje adsorpci plátku.

4. **Elektrostatická elektroda**: Tato elektroda generuje elektrické pole, které vytváří elektrostatickou sílu potřebnou k udržení destičky na místě. Elektroda je typicky rovinná a je buď zapuštěna v izolačním materiálu nebo na něm uložena. Mezi běžně používané vodivé materiály patří hliník, měď a wolfram.

5. **Oběhová chladicí voda a topná elektroda**: Tyto prvky jsou primárně zodpovědné za celkovou regulaci teploty elektrostatického upínače. Topná elektroda a cirkulující chladicí voda pracují v tandemu, aby udržely stabilní teplotu plátku. Spoléhání se pouze na cirkulující chladicí vodu může vést k neschopnosti řídit teplo generované během procesu leptání, což může potenciálně ohrozit stabilitu procesu.  

Semicorex nabízí vysokou kvalituElektrostatické sklíčidlo (ESC). Pokud máte nějaké dotazy nebo potřebujete další podrobnosti, neváhejte nás kontaktovat.

Kontaktní telefon +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com