Kompozitní ohřívače PBN

Semicorex PBN kompozitní ohřívače sloučí vynikající tepelnou vodivost pyrolytického grafitu s chemickou inertitou a elektrickou izolací pyrolytického nitridu boru. Tyto ohřívače jsou postaveny z velmi vysoké čistoty grafitu a PBN, které se aplikují pomocí vysoce kvalitního procesu CVD (chemické depozice par) za podmínek s vysokou čistotou. Každá jednotlivá vrstva úspěchu byla uložena s velmi extrémní ovladatelností, aby byla zajištěna ultra vysoká čistota a konzistentní tepelné vlastnosti. Grafitové jádro, které poskytuje rychlé a rovnoměrné zahřívání v celém, je chráněno před oxidací a kontaminací kapsli PBN; Díky tomu je topení ideální pro prostředí vakuového plynu a inertního plynového prostředí. Tyto ohřívače PBN jsou záměrně navrženy pro použití v reaktorech MBE (epitaxy molekulárního paprsku), CVD reaktory a dalších systémech růstu krystalů.

Pyrolytický boronový nitrid-pyrolytický grafit (PBN-PG) kompozitní ohřívač je topení, který používá jako substrát s vysokou izolací PBN a používá nízkotlaký tepelný rozklad chemické páry (CVD) při nízkém tlaku (pod 10Torr) a vysokou teplotu k natáčení vodivé PG. Hlavními složkami tohoto kompozitního topení jsou pyrolytický nitrid boru (PBN) a pyrolytický grafit (PG). Vzhledem k jeho vynikající odolnosti proti korozi a odolnosti proti vysoké teplotě se používá hlavně pro polovodičové zahřívání substrátu (používáno v MBE, MOCVD, povlak na rozprašování atd.); Vytápění supravodičového substrátu; Vytápění vzorku během analýzy vzorku; Vytápění vzorku elektronového mikroskopu; Kovové zahřívání; Zdroj vytápění kovového odpařování atd.

Ohřívače PBN vydrží ve vakuu provozní teploty až 1600 ° C a mají zlepšenou schopnost odolat tepelnému šoku z všech alternativ založených na kovu, na které byste se spolehli. Povrch topení je extrémně hladký a hustý a produkuje výrazně méně částic během provozu, což je rozhodující pro aplikace, kde nelze kontaminaci tolerovat, jako je zpracování destičky polovodiče.

Kompozitní struktura poskytuje vynikající tepelnou uniformitu přes povrch ohřívače a její odporové cesty lze přizpůsobit tak, aby umožnily distribuci na míru na míru. Tento návrh umožňuje rychlé cykly rampu a cooldownu během zpracování bez praskání a delaminující v důsledku stejných koeficientů tepelné roztažnosti použitých materiálů. Elektrody jsou schopny odolávat kontinuálnímu provozu s vysokým proudem a jsou také kompatibilní ve vakuu.

Semicorex poskytuje neomezenou flexibilitu designu pro jedinečné tvary, velikosti a požadavky na energii v případě potřeby, aby uspokojil konkrétní potřeby aplikací; Ať už se jedná o standardní velikosti oplatky nebo složitější geometrie, zaručujeme v každé vyrobené jednotce přesnost a tepelnou uniformitu.

Kompozitní ohřívače PBN jsou ideální pro ultračitační aplikace, včetně:

• MBE Systémy pro III-V a II-VI SMĚRNÉ SMĚRNÉ PŘIPOMÍNKY
• Vakuové povlakové systémy pro optické komponenty
• Krystalické růstové systémy pro safír a sic
• Tepelné zpracování s vysokou mírou pro prostředí pro výzkum a vývoj.