Elektrostatické sklíčidlo PBN

Vlastnosti materiáluPBNElektrostatické sklíčidlo

Vysokoteplotní odolnost a dielektrická pevnost

ThePBNElektrostatické sklíčidlo je známé pro svou výjimečnou odolnost vůči vysokým teplotám, což je vlastnost, která je klíčová v procesu výroby polovodičů. Pyrolytický nitrid boru (PBN), materiál použitý v konstrukci sklíčidla, vykazuje vyšší měrný odpor než většina běžně používané keramiky, což je klíčové pro udržení síly sklíčidla Johnsen-Rahbek (J-R) až do teplot 1050°C. Tento vysoký měrný odpor spolu s vysokou dielektrickou pevností zajišťuje, že je účinně zabráněno elektrickému průrazu i při intenzivním žáru, čímž se zvyšuje provozní spolehlivost sklíčidla.

Tepelná stejnoměrnost a odolnost proti otřesům

Šestiúhelníková mřížková struktura PBN, připravená chemickou depozicí par při teplotách přesahujících 1500 °C, přispívá k jeho vynikající tepelné rovnoměrnosti a odolnosti proti nárazům. Topná tělesa s vysokou hustotou uvnitřPBNElektrostatické sklíčidlo umožňuje dosáhnout konzistentního tepelného profilu plátku s dobrou rovnoměrností 1,1–1,5 % při teplotách 600–800 °C. Kromě toho sklíčidlo na bázi PBN vykazuje pozoruhodnou odolnost proti tepelným šokům a nižší tepelnou hmotnost, což mu umožňuje dosáhnout 600 °C při vysoké rychlosti náběhu 23 °C/s bez rizika praskání nebo delaminace.

Přizpůsobitelné vícezónové vytápění

Elektrostatické sklíčidlo PBN je vysoce přizpůsobitelné a nabízí vícezónové vyhřívání, které umožňuje maximální kontrolu teploty. Tato úroveň přizpůsobení zajišťuje, že každé sklíčidlo může být přizpůsobeno tak, aby vyhovovalo specifickým požadavkům jednotlivých zákazníků, a poskytuje flexibilní řešení pro různé aplikace zpracování polovodičů.

Aplikace zPBNElektrostatické sklíčidlo

Iontová implantace a manipulace s destičkami

Elektrostatické sklíčidlo PBN je preferovaným zařízením pro manipulaci s destičkami v procesech iontové implantace. Jeho schopnost udržet destičky při teplotách přesahujících 1000 °C z něj dělá jedno z nejuniverzálnějších elektrostatických sklíčidel na trhu. Tato všestrannost je dále posílena jeho schopností udržovat oplatky ve velmi úzkých teplotních rozsazích, a to díky vícezónovým topným prvkům s vysokou hustotou.

Iontová implantace karbidu křemíku

Při specifické aplikaci implantace SiC iontů jePBNElektrostatické sklíčidlo nabízí životaschopné řešení problémů spojených s ohřevem plátků a manipulací s nimi. Jeho dvojí funkce, které zahrnují vysokou upínací sílu, vysoký topný výkon, dobrou tepelnou rovnoměrnost a rychlou odezvu, z něj činí ideální volbu pro řešení složitých požadavků implantace SiC iontů.

Výroba polovodičů

Elektrostatické sklíčidlo PBN hraje klíčovou roli ve výrobě polovodičů, kde je nezbytná přesná manipulace s destičkami a kontrola teploty. Jeho vysoká odolnost proti tepelným šokům a schopnosti rychlého nárůstu teploty jej činí vhodným pro pokročilé polovodičové procesy, které vyžadují přísné řízení teploty a rychlé tepelné cykly.