PBN topení

Semicorex pyrolytický nitrid bór nitrid PBN PBN je to vysoce čisté, vysoce výkonné vytápěcí složky určené pro náročné aplikace, kde jsou nezbytné ultra čisté, chemicky stabilní a tepelně účinné materiály. PBN, vyrobená procesem chemické depozice páry (CVD), vykazuje výjimečnou tepelnou vodivost, vysokoteplotní odolnost a vynikající chemickou inertnost, což z něj činí ideální volbu pro zpracování polovodičů, růst krystalů a vakuové aplikace.

Ohřívač PBN je ohřívač, který používá vysoce izolační PBN jako substrát a používá nízkotlaké tepelné dekompoziční chemické depozice páry (CVD) k natáčení vodivého PG při nízkém tlaku (pod 10torr) a vysokou teplotu. Hlavními složkami tohoto kompozitního topení jsou pyrolytický nitrid boru (PBN) a pyrolytický grafit (PG). Vzhledem k jeho vynikající odolnosti proti korozi a odolnosti proti vysoké teplotě se používá hlavně pro polovodičové zahřívání substrátu (používáno v MBE, MOCVD, povlak na rozprašování atd.); Vytápění supravodičového substrátu; Vytápění vzorku během analýzy vzorku; Vytápění vzorku elektronového mikroskopu; Kovové zahřívání; Zdroj vytápění kovového odpařování atd.

PBN je inertní k korozivním plynům; má vysokou čistotu (větší než 99,99%); Netromene ani nereaguje s většinou roztavených kovů (má vlastnosti nepřilnavé pánve a kov lze použít 100%); má dobrou odolnost proti vysoké teplotě (maximální provozní teplota je 2000 ℃); dobrá hustota; Dobrá odolnost proti tepelným šokům a další vynikající vlastnosti z něj činí ideální materiál pro přípravu kompozitních ohřívačů PBN-PG. PG lze rychle zahřívat na 1600 ℃ (v inertní atmosféře a ve vakuu) v ohřívači PBN. Současně v kombinaci s dobrou tepelnou vodivostí PBN má topná plocha dobrá tepelná uniformita. S rychlým rozvojem souvisejících průmyslových odvětví se poptávka po kompozitních ohřívách PBN-PG také rychle zvýšila.

Ohřívače PBN mohou být vyrobeny v různých tvarech a konfiguracích tak, aby splňovaly specifické požadavky na návrh a integraci. Mezi typické vzory patří rovinné ohřívače, tubulární ohřívače a vlastní geometrie s vestavěnými nebo povrchovými topnými prvky. Topné prvky jsou obvykle vyrobeny z pyrolytického grafitu (PG) a zapouzdřeny v PBN, poskytují zcela utěsněné, elektricky izolační a tepelně účinné struktury.