Solární grafitový člun PECVD

SemicorexPECVD solární grafitové člunyjsou precizně vyrobeny z vysoce čistéizostatický grafit. Každý solární grafitový člun PECVD od společnosti Semicorex prochází přesným obráběním, rozměrovou kontrolou a testováním elektrického výkonu, aby byl zajištěn stabilní výkon ve vysokoteplotních plazmových prostředích.

Během zpracování PECVD nese solární grafitový člun PECVD křemíkové plátky do reakční komory PECVD a slouží jako elektroda připojená k RF napájení. Když se mezi sousední lodní desky přivede střídavé napětí, vytvoří se elektrické pole. Pod vlivem elektrického pole procházejí reaktivní plyny (jako je silan SiH4 a amoniak NH3) doutnavým výbojem a vytvářejí plazmu. Ionty a volné radikály v plazmě rozkládají prekurzorové plyny a vytvářejí ionty křemíku (Si) a dusíku (N). Tyto ionty se spojují a vytvářejí molekuly nitridu křemíku (Si3N4), které se pak ukládají na povrch křemíkového plátku a vytvářejí tenké filmy.

1. Výjimečná tepelná stabilita

S koeficientem tepelné roztažnosti blízkým křemíkovým waferům, SemicorxPECVD solární grafitový člunpři zahřívání dochází k zanedbatelné rozměrové změně, což spolehlivě zabraňuje poškození plátků tepelným stresem.

2. Vynikající elektrická a tepelná vodivost

Sluneční grafitové čluny Semicorex PECVD mají vynikající elektrickou vodivost, zajišťující rychlé vedení vysokofrekvenčního proudu a rovnoměrné rozložení elektrického pole, což je výhodné pro stabilní generování plazmatu a rovnoměrné ukládání křemíkových plátků. Navíc jeho vynikající tepelná vodivost usnadňuje rychlé chlazení a ohřev, zlepšuje efektivitu výroby a zároveň zabraňuje lokálnímu přehřátí v ovlivnění kvality depozice.

3. Silná chemická stabilita

Díky použití prvotřídního materiálu je solární grafitový člun Semicorex PECVD méně náchylný k reakci s reaktivními plyny a plazmou. Tato charakteristika výrazně zabraňuje nerovnoměrnému rozložení elektrického pole způsobenému korozí, deformací nebo usazováním nečistot v grafitovém člunu a zajišťuje tak stabilitu procesu nanášení a kvalitu povrchu křemíkových plátků.

4. Vynikající mechanická pevnost

Díky své vynikající mechanické pevnosti dokáže solární grafitový člun Semicorex PECVD snadno zvládnout hmotnost velkoobjemového nákladu plátků. Dokážou dlouhodobě odolávat mechanickému namáhání vznikajícímu při nakládání a přepravě, aniž by se snadno deformovaly nebo zlomily.

5. Vynikající rozměrová konzistence

Sluneční grafitová loď Semicorex PECVD dosahuje výjimečné rozměrové přesnosti napříč všemi součástmi díky přesnému obrábění. Udržuje křemíkový plátek během nanášení v pevné poloze, což zajišťuje rovnoměrné nanášení a kompatibilitu s automatizovanou výrobou.