Porézní keramika z karbidu tantalu Semicorex je vysoce výkonná porézní keramika navržená speciálně pro proces fyzikálního transportu par (PVT). Jeho speciální porézní struktura a vynikající vlastnosti hrají důležitou roli při usnadňování růstu vysoce kvalitních krystalů karbidu křemíku. Volbou Semicorex získáte ideální porézní keramická řešení s konzistentní kvalitou a stabilním výkonem pro pokročilou výrobu polovodičů.
Porézní keramika z karbidu tantalu Semicorex je ultravysokoteplotní keramický materiál s bodem tání kolem 3880 ℃, který dokáže udržet stabilní výkon v náročných provozních prostředích s vysokou teplotou a vysokou korozí díky následujícím vynikajícím výkonnostním charakteristikám.
Maximální pracovní teplota Semicorex porézníkeramika z karbidu tantalumůže být až 3200 ℃ a může pracovat stabilně za podmínek růstu krystalů karbidu křemíku po dlouhou dobu bez jakékoli deformace nebo změkčení.
Porézní keramika z karbidu tantalu Semicorex vykazuje lepší odolnost proti korozi a oxidaci než konvenční keramika. Může účinně odolávat korozi vysokoteplotního kyslíku a Si páry v procesu růstu krystalů.
Porézní keramika z karbidu tantalu Semicorex se vyznačuje stejnoměrně rozmístěnými vnitřními póry, s porézností mezi 10-60 % (přizpůsobitelné) a mírou prostupu pórů přes 98 %. Tato speciální struktura umožňuje prvkům v parní fázi, jako je Si a C, proudit a plynule difundovat uvnitř pece pro růst krystalů, což značně usnadňuje růst vysoce kvalitních krystalů.
Během růstu krystalů karbidu křemíku procesem PVT funguje porézní keramika karbidu tantalu Semicorex především při filtraci prvků v parní fázi, regulaci teplotního gradientu pece a vedení toku plynného materiálu. Na rozdíl od běžných porézních grafitových materiálů potažených TaC vykazuje porézní keramika z karbidu tantalu výrazné výhody: eliminuje porézníGrafit potažený TaCnevýhodou materiálů je nízká míra prostupu pórů způsobená ošetřením povlakem, přičemž nedochází k bolestivosti porézních grafitových materiálů potažených TaC při odlupování povlaku, ke kterému dochází v provozu. Použitím porézní keramiky z karbidu tantalu Semicorex můžete účinně inhibovat defekty inkluze uhlíku v růstu krystalů karbidu křemíku, čímž výrazně zlepšíte kvalitu růstu krystalů a výtěžnost produktu.