Polovodičové difúzní trubice Semicorex jsou základní křemenné komponenty, jejichž cílem je poskytnout čistý a stabilní reakční prostor pro výrobu polovodičových destiček. Díky svým rozsáhlým a osvědčeným výrobním schopnostem může Semicorex poskytnout našim váženým zákazníkům vysoce kompatibilní, na zakázku navržené křemenné difuzní trubice polovodičové kvality.
Quartzové člunyse obvykle používají při vysokých teplotách, drsných podmínkách chemické koroze. Během operace jsou polovodičové destičky umístěny do křemenné lodičky a vloženy do křemenné difuzní trubice. Když difuzní trubice dosáhne požadované teploty (několik set až několik tisíc stupňů Celsia), zavedou se do křemenné difuzní trubice přes plynové porty procesní plyny (např. O₂, N2, H2, Ar) a dopující plyny (např. POCl3, BBr3), aby se provedla semiskopická oxidace a difuze. Kromě toho, aby se zlepšila stejnoměrnost a přesnost difuze, musí být některé procesy difuze prováděny v prostředí s nízkým tlakem.
V pokročilých procesech výroby polovodičů může jakákoli drobná chyba nebo nedostatek v těchto procesech vést k selhání následujících procesů. Proto je kvalita křemenných difúzních trubic jako rozhodující součásti výroby polovodičů významně důležitá a přímo ovlivňuje výtěžnost a výkon polovodičových součástek.
Semicorex polovodičové křemenné difuzní trubice jsou pečlivě vyrobeny z vysoce kvalitníchpolovodičový křemenmateriál. Zde jsou jeho specifické parametry:
Parametry lze upravit dle požadavků zákazníka.
Polovodičové třídy Semicorex se spoléhají na naši zkušenou technologii zpracování a spolehlivý výběr materiálůkřemenné difuzní trubiceprokázat vynikající výkon v náročných provozních podmínkách:
Polovodičové křemenné difúzní trubice Semicorex poskytují pozoruhodnou odolnost vůči vysokým teplotám, což jim umožňuje pracovat stabilně ve vysokoteplotním prostředí až do 1200 ℃ bez jakékoli deformace nebo poškození.
Polovodičové difuzní trubice Semicorex, které se mohou pochlubit výjimečným koeficientem tepelné roztažnosti, jsou schopny odolat tepelnému namáhání během rychlého zahřívání nebo ochlazování, aniž by snadno praskaly nebo se deformovaly.
Polovodičové křemenné difúzní trubice Semicorex poskytují vynikající chemickou inertnost ve vysokoteplotních a drsných korozních prostředích. Tento výkon značně zabraňuje tomu, aby kontaminanty vznikající při jejich reakci s procesními plyny ovlivňovaly kvalitu plátku.