Polovodičové křemenné kelímky

Semicorex Semiconductor Quartz Crucibles jsou spotřební produkty v polovodičovém průmyslu speciálně pro křemenné kecy použité v procesu tahání krystalu křemíku výroby monokrystalů. Jsou vyrobeny z ultraparelového fúzovaného křemene, které uspokojují čistotu, homogenitu a odolnost proti teplu a jsou vyráběny tak, aby vyhovovaly vysokým požadavkům moderní výroby polovodičů. Jsou životně důležité pro specifikaci Silicon Ingot, protože jejich atributy přímo ovlivňují výkon oplatky a výnos při zpracování integrovaného obvodu.

Z tepelného a fyzického hlediska: křemenné kelímky vydrží teplo velmi dobře. Deformační bod je přibližně 1100 ° C, bod změkčení je přibližně 1730 ° C a maximální kontinuální servisní teplota je 1100 ° C, [krátkodobá expozice do 1450 ° C]. Tyto vlastnosti umožňují použitelnost při vysokých teplotách a zároveň poskytují vysokou čistotu a tepelnou odolnost, a proto podporují stabilitu během procesu tahání krystalů Czochralski (CZ), kde je třeba minimalizovat kontaminaci a deformace a přesné tepelné profily jsou pro získání homogenního krystalu.

Z strukturálního hlediska se polovodičové kelímky skládají z vrstvené kompozitní struktury určené pro tepelné vlastnosti a mechanickou pevnost. Počáteční (pohybující se dovnitř) vrstva je průhledná vrstva křemene, která je obecně jedna třetina tloušťky stěny (asi 3–5 mm) a má relativně nízký obsah bublin (v závislosti na technice zpracování), a proto bude hladký povrch bez vady v kontaktu s povrchem křemíkového křemíku (to přispěje k kontrole kontaminace pro stabilní podmínky).

Vnější strana je vrstvená s větší hladinou bublin přispívajících k síle deformace kelímku, vyšší odolnosti tepelného napětí a tepelné izolaci ze zdroje tepla pro ozařování uniformity. Vrstvy kelímku mu umožňují udržovat formu a integritu, navzdory diferenciálním tepelným gradientům, které existují v procesu tahání krystalů.

Moderní křemenné kelímky se vyvinuly dále než tradiční dvouvrstvá struktura kvůli pokroku ve výrobních technologiích. Mnoho kelímků používá třívrstvou strukturu-průhledná vnitřní vrstva, průhlednou střední vrstvu, která má bubliny rozptýleno přes křemen a vnější tenkou vrstvu temperamentního křemene. Třívrstvé struktury nabízejí lepší mechanickou pevnost, tepelné řízení a výhody nákladů a zlepšují vlastnosti přenosu tepla. Některé kelímky také aplikují povlaky alkalických kovových iontů (např. Roztoky iontů barya) na nejvnitřnějším povrchu, nebo používají vysoce čisté syntetické křemen v specifických vrstvách, aby pomohly snížit obsah kyslíku, vyčerpávat čistotu a zlepšit celkovou kvalitu tažených jednotlivých krystalů.

Výroba křemenných kelímků pro polovodiče má být držena tak, aby byla držena přísná tolerance kontroly kvality při potřebných čistostech, což je obvykle několik částí na miliardu kovových nečistot. Suroviny jsou pečlivě vybírány a čištěny, aby se odstranily všechny kontaminanty. Jsou vytvořeny do drsných rozměrů, přičemž se použije správná tepelná ošetření a povrch je dokončen pro řešení přesnosti rozměru, mechanické pevnosti a čistoty. Proces je zaměřen na zajištění toho, že kelímky zůstanou spolehlivé a zároveň budou vystaveny prodloužené expozici vysoké teploty v drsném chemickém prostředí.

Výkon křemenného kelímku v polovodičové produkci ovlivňuje uniformitu křemíkové krystalové mřížky, hustotu defektu a kyslík v ingotu. Vysoké čistoty a křemenné kelímky bez defektů, omezí dislokaci defektů krystalů, zvýší rychlost výnosu a stanoví schopnost generovat oplatky pro posun geometrií zařízení. Pokud jste výrobcem HGH-výkonných IC, fotovoltaického křemíku nebo výkonové elektroniky, výběr a použití křemenných kelímků s vysokou kvalitou je rozhodujícím prvkem pro vytvoření a optimalizaci nákladů.

SemicorexPolovodičový křemenKrucibles jsou nezbytným pomocným materiálem pro jakýkoli systém tahání křemíku. Díky jedinečným atributům čistoty, stability s vysokou teplotou a proprietárních vícevrstvých struktur z něj činí vhodný materiál pro podporu přísnosti procesu tahání CZ a zároveň poskytuje konzistentní a reprodukovatelný výkon. Jak se polovodičová výroba pohybuje směrem k vyšší integraci a přísnější tolerance, významné výhody přidaných hodnot s přesným inženýrským křemenným kelímkům budou vytvářet větší důležitost pro umožnění a rozvíjení elektronických technologií nové generace.