SiC keramický člun

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat se vyznačuje jedinečnou kombinací materiálových vlastností, díky kterým se ideálně hodí pro náročné podmínky výroby polovodičů a fotovoltaiky:

Neochvějná stabilita při vysokých teplotách:Zpracování oplatek často zahrnuje extrémní teploty, které tlačí konvenční materiály na jejich limity. SiC Ceramic Wafer Boat vykazuje výjimečnou odolnost vůči vysokým teplotám, zachovává si svou strukturální integritu a mechanické vlastnosti i při teplotách přesahujících 1650 °C (3000 °F). To umožňuje jejich použití v kritických procesech, jako je difúze a žíhání, kde je prvořadé přesné řízení teploty a stabilita plátku.

Nedobytná pevnost proti korozi:Drsné chemikálie a agresivní látky používané při výrobě polovodičů a fotovoltaiky představují významnou výzvu pro integritu materiálu. Keramický oplatkový člun SiC vykazuje vynikající odolnost proti korozi ve srovnání s většinou kovů a jiné keramiky, odolává dlouhodobému vystavení širokému spektru kyselin, rozpouštědel, solí a organických sloučenin. Tato inertnost zajišťuje dlouhou životnost lodi, zabraňuje kontaminaci degradací materiálu a zajišťuje čistotu kritických procesních kroků.

Čistota bez námahy pro nekompromisní čistotu:Udržování nedotčených povrchů plátků je prvořadé pro dosažení vysokých výnosů a výkonu zařízení. Neporézní povrch SiC Ceramic Wafer Boat a odolnost vůči chemickému napadení umožňují výjimečně snadné čištění. Kontaminanty jsou snadno odstraněny, což zabraňuje křížové kontaminaci mezi procesy a zajišťuje nedotčené prostředí požadované pro vysoce výkonná polovodičová a fotovoltaická zařízení.

Odolnost proti tepelnému a mechanickému namáhání:Zpracování plátků často zahrnuje rychlé změny teploty a mechanické zacházení, které může vyvolat stres a poškodit náchylné materiály. Robustní mechanické vlastnosti SiC Ceramic Wafer Boat, včetně vysoké tvrdosti a výjimečné odolnosti proti tepelným šokům, zajišťují její strukturální integritu i za náročných podmínek. To minimalizuje riziko tvorby částic nebo poškození plátků, což přispívá k vyšším výnosům a konzistentní kvalitě produktu.

Bezskluzová přeprava pro neochvějnou přesnost:Přesná manipulace s plátkem je zásadní pro prevenci poškození a zajištění konzistentního zpracování. Vlastní kluznost a nízký koeficient tření SiC Ceramic Wafer Boat vytváří přirozeně neklouzavý povrch. To umožňuje hladký, kontrolovaný pohyb plátku během nakládání a vykládání, čímž se minimalizuje riziko poškrábání, odštípnutí nebo jiného poškození, které by mohlo ohrozit integritu plátku.