Sic víko

Semicorex SIC víko je životně důležitá součást, která je navržena speciálně pro polovodičové zpracování. Je navržen pro nejtěžší prostředí v epitaxy, implantování iontových a vysokoteplotních aplikací. Vyrábí se z ultraparečného karbidu křemíku, který má extrémně stabilní vlastnosti materiálu a přesnost vytvořené. Dlouhodobá konzistence, trvanlivost a čistota jsou klíčovými důvody pro výběr víka Semicorex SiC pro použití v pokročilých procesech výroby polovodičů.

Křemíkový karbid (sic)má řadu vlastností, které jsou jedinečné ve srovnání s tradiční keramikou nebo kovovými materiály. Jednou z hlavních výhod SIC je jeho odolnost vůči vysokým teplotám. SIC může udržovat svou strukturální integritu a mechanickou stabilitu - po dlouhou dobu i při zvýšených teplotách. Díky tomu je SIC ideální pro procesy, jako je epitaxy chemické depozice par (CVD) nebo implantace iontů s vysokou energií. Kovy a plasty by se deformovaly, oxidovaly nebo kontamizovaly při extrémních teplotách, zatímco SIC si bude udržovat svou rozměrovou stabilitu a nebude pozitivně interagovat se zpracovanými destičkami.

Chemická odolnost je dalším rozlišovacím rysem víček SIC. Při zpracování polovodičů není při zpracování prostředí, s nimiž se můžete setkat s korozivními plyny, plazmovými nebo reaktivními chemikáliemi, neobvyklé. V těchto scénářích poskytne povrch SIC inertní bariéru, která by odolávala těmto kontaminantům z degradování povrchu v průběhu času, což má za následek delší efektivní život. Tato dlouhověkost odpovídá sníženým nákladům na údržbu, zkrácenou dobu prostoje vybavení a opakovatelnost v prodloužených procesních cyklech. Díky těmto faktorům je víko SIC lepší volbou pro FABS, které vyžadují nepřetržitou produkci s vysokým výnosem ve srovnání s tradičními materiály.

Stejně jako chemická odolnost je čistota také prvořadá v aplikaci polovodiče. Přítomnost stopových kontaminantů může mít negativní dopad na výkon a výnos zařízení. Víko SIC je vyrobeno z materiálů karbidu křemíku s vysokou čistotou, které vylučují možnost kovových nečistot proudící do procesního prostředí. Kromě toho je zaručeno, že je co nejčistší a stabilnější, protože se týká kontaminantů a vnějších sil ovlivňujících výkon víka, což je rozhodující při plnění dnešních polovodičových výrobních požadavků, kde musí být objekty úrovně nanometrů definovány bezrozměrnou přesností a kontrolou kontaminantů. Flexibilita, kterou nabízí víko SIC, je další hodnota. Každá komponenta může být navržena pro potřeby konkrétního zákazníka s ohledem na velikost, geometrii a povrchovou úpravu. Tím je zajištěno, že víko lze snadno začlenit do a integrovat s různými modely zařízení a procesními nástroji.

Přesnost obráběníSicVíka dále zlepšuje hodnotu víček SIC. Polovodičové nástroje vyžadují nejvyšší mechanickou přesnost v důsledku velkých výkyvů v rozměrové kompatibilitě a jednotnosti povrchu, dokonce i drobné odchylky v uniformitě a tloušťce materiálu mohou vážně ohrozit procesní konzistenci nástroje, propustnost a kvalitu produktu. Prostřednictvím pokročilých technologií ve zpracování materiálů mají víčka SIC rovinnost, povrchovou uniformitu a tolerance, které překračují konvenční průmyslové standardy, což nabízí tloušťku mechanické těsnění povrchu, obvykle tisíce/tisíce palec (TIR). Vysoká rovinnost umožňuje replikovat těsnění mechanického přizpůsobení a také ujištění pro limity laboratorního stupně, které mají podmínky ve výrobním procesu. To je zvláště patrné u vysokých objemových Fabs, kde důraz na opakovatelnost podmínek je zásadní pro výkon zařízení polovodičů. Když sledujete přesné inženýrství, mluví přímo o optimalizaci. When SiC lids are in typical practical use, for example, in epitaxy where the SiC lid sits thermally and chemically stable to get in the reactor, or in an ion implantation system to resist energetic particles ejected from a high power beam of ions hitting the lid, their mechanical configurations and properties maintained their performance under constant bombardment of energetic solids, stable to operating conditions and maintenance were potential suitors in why SIC víčka jsou předurčena k synonymu při výrobě polovodičů v pevném státě.

Semicorex Sic LID představuje to nejlepší z vědy o materiálech a materiálu a nabízí nejlepší možný výkon v polovodičovém prostředí, mezi jejich vysokoteplotní tolerance, chemická odolnost, ideální čistota, vlastní výroby, přesné obráběcí práce, víko SIC bude provádět.