Procesní trubky SiC

Procesní trubky Semicorex SiC jsou důležitými konstrukčními součástmi při oxidaci, difúzi, RTA/RTP v procesu výroby polovodičů. Obecně se jedná o trubku o velkém průměru jako prostor reaktorové pece, všechny chemické procesy budou probíhat uvnitř. Takže pevnost a odolnost proti tepelným šokům jsou velmi základními body produktu.

Procesní trubky SiC jsou vyrobenyslinutý karbid křemíkumůže to být SiSiC, SSiC nebo RSiC a CVD SiC povlak na povrchu, který vytvoří vrstvu ultra vysoké čistoty. Může zabránit znečištění částicemi, popelem atd. A materiál má velmi vysokou odolnost proti tepelným šokům, takže procesní trubky SiC mohou zůstat stabilní při vysoké teplotní odolnosti a zabránit tomu, aby se nečistoty vysrážely při vysokých teplotách a tím znečišťovaly životní prostředí.

Tyto procesní trubice SiC jsou navrženy pro použití v atmosférách s reaktivním plynem (kyslík), ochranným plynem (dusík) a minimálním množstvím plynného chlorovodíku a nabízejí vynikající chemickou odolnost, tepelnou stabilitu a čistotu materiálu do 1250 °C. Process Tubes Semicorex SiC kombinují nejmodernější výrobu 3D tisku s povlakem chemického nanášení z plynné fáze (CVD), aby poskytovaly vynikající výkon a životnost v nejextrémnějších tepelných a chemických podmínkách.

Procesní zkumavky Semicorex SiC jsou vyráběny pomocí integrovaného lisovacího procesu 3D tisku než konvenčními lisovanými nebo sestavenými trubkami. Tento výrobní proces umožňuje spojitou, konzistentní strukturu keramiky bez spojů a slabých míst, což vytváří vysoký stupeň složitosti a rozměrové věrnosti, což může zmírnit koncentraci napětí a zároveň zvýšit mechanickou pevnost. Monolitická struktura navíc poskytuje těsnění nepropustné pro zemní plyn, což snižuje kontaminaci a úniky během vysokoteplotních procesů.

TheSiCTěleso je materiál s velmi nízkým obsahem nečistot (< 300 ppm), který poskytuje vynikající čistotu materiálu a stabilitu pro reaktivní atmosféry. Kromě toho je trubka potažena vrstvou karbidu křemíku CVD (< 5 ppm), aby se zlepšila odolnost proti korozi a ochrana povrchu.

Semicorex poskytuje přizpůsobené služby, můžeme vyrábět podle výkresů zákazníků, abychom splnili požadované specifikace. Procesní trubky Semicorex SiC tak mohou být alternativně vhodné nejen pro horizontální pece, ale i pece vertikální.