Semicorex je váš partner pro zlepšení v oblasti zpracování polovodičů. Naše povlaky z karbidu křemíku jsou husté, odolné vůči vysokým teplotám a chemikáliím, které se často používají v celém cyklu výroby polovodičů, včetně zpracování polovodičových destiček a destiček a výroby polovodičů.
Vysoce čisté keramické komponenty SiC jsou klíčové pro procesy v polovodičích. Naše nabídka sahá od spotřebních dílů pro zařízení na zpracování plátků, jako je člun z karbidu křemíku, konzolová pádla, trubice atd. pro epitaxi nebo MOCVD.
Výhody pro polovodičové procesy
Fáze nanášení tenkého filmu, jako je epitaxe nebo MOCVD, nebo zpracování s plátkem, jako je leptání nebo iontový implantát, musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění. Semicorex dodává vysoce čistá konstrukce karbidu křemíku (SiC), která poskytuje vynikající tepelnou odolnost a trvalou chemickou odolnost, rovnoměrnou tepelnou rovnoměrnost pro konzistentní tloušťku a odolnost epi vrstvy.
Víka komor →
Víka komory používaná při růstu krystalů a zpracování oplatek musí vydržet vysoké teploty a drsné chemické čištění.
Konzolové pádlo →
Cantilever Paddle je klíčová součást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména v difúzních nebo LPCVD pecích během procesů, jako je difúze a RTP.
Procesní trubice →
Process Tube je klíčová součást, speciálně navržená pro různé aplikace zpracování polovodičů, jako je RTP, difúze.
Oplatkové čluny →
Wafer Boat se používá při zpracování polovodičů a byl pečlivě navržen tak, aby zajistil, že jemné oplatky budou během kritických fází výroby v bezpečí.
Vstupní kroužky →
Vstupní prstenec plynu potažený SiC zařízením MOCVD Růst sloučeniny má vysokou tepelnou a korozivzdornou odolnost, která má velkou stabilitu v extrémním prostředí.
Zaostřovací kroužek →
Semicorex dodává Ostřící kroužek potažený karbidem křemíku je opravdu stabilní pro RTA, RTP nebo drsné chemické čištění.
Oplatka Chuck →
Ultra-plochá keramická vakuová destičková sklíčidla Semicorex jsou vysoce čistá SiC potažená při procesu manipulace s destičkami.
Semicorex má také keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu křemíku (Si3N4), nitridu hliníku (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitní keramiky atd.
Semicorex sic vakuové upínače jsou vysoce výkonné keramické příslušenství určené pro bezpečnou adsorpci oplatky ve výrobě polovodičů. S vynikajícími tepelnými, mechanickými a chemickými vlastnostmi zajišťuje stabilitu a přesnost v náročném procesním prostředí.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazKompozitní ohřívače Semicorex PBN jsou pokročilé topné prvky vytvořené pro vysokoteplotní, ultra-čisté vakuové prostředí, široce používané v polovodičových, optoelektronikách a odvětví materiálu. Vyberte si polovičko pro odborné znalosti v oboru, přizpůsobení s malými dávkami a kvalitu prvotřídních řešení PBN.**********************
Přečtěte si víceOdeslat dotazPádlové pádla Sic SIC jsou vysoce výkonné konzolové pádla karbidu křemíku používané v polovodičových tepelných zpracovatelských zařízeních, navržených pro stabilní manipulaci s oplatkou ve vysokoteplotních prostředích. Výběr Semicorex znamená výběr materiálů s vysokou čistotou, vynikající tepelnou stabilitu a špičkovou technologii Precision Manufacturing Technology, aby bylo zajištěno, že každý váš kritický proces je stabilní a spolehlivý.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazDržitelé lodí polokorexů jsou základní strukturální komponenty, které zajišťují přesné a spolehlivé umístění oplatky v tepelném zpracování polovodiče. Vyberte si Semicorex pro bezkonkurenční kvalitu, technické znalosti a závazek k rozvoji vysoce čistých SIC řešení ve výrobě polovodičů.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazLodě Semicorex Wafer jsou přesně inženýrské keramické nosiče navržené pro zpracování vysokoteplotních oplatků při výrobě polovodičů. Vyberte si polo polokluta pro svou bezkonkurenční čistotu materiálu, technologii pokročilé výroby a závazek k kvalitě, která zajišťuje konzistentní výkon v nejnáročnějších prostředích v čistotě.*
Přečtěte si víceOdeslat dotazPolovodíkové trubice Sic jsou trubice Sic Sic Trubky určené pro vysokoteplotní procesy polovodiče s vynikající tepelnou stabilitou a odolností proti chemické korozi. Výběr surovin s vysokou čistotou Semicorex, přesné výrobní procesy a dlouhodobé záruky spolehlivosti, které poskytují solidní podporu pro váš proces výroby polovodičů.*
Přečtěte si víceOdeslat dotaz