Zaostřovací kroužky z karbidu křemíku

Ostřící kroužky z karbidu křemíkujsou běžně instalovány v reakční komoře leptacího zařízení, umístěné kolem nosné plochy destičky elektrostatického upínače. Toto instalační uspořádání může úspěšně vyplnit výškový rozdíl mezi okrajem plátku a elektrodou, zaostřit plazmu v reakční komoře na povrch plátku, aby se dosáhlo rovnoměrného leptání a také zabránit difúzi plazmatu směrem ven z okraje plátku, aby se zabránilo problému přeleptání okraje plátku.

Vysoce kvalitní leptací komponenty mohou poskytnout stabilní prostředí elektrického pole pro proces leptání. Ostřící kroužky z karbidu křemíku Semicorex jsou vyrobeny z vysoce výkonných materiálůmateriály z karbidu křemíkuprostřednictvím chemické depozice par. Naše zaostřovací kroužky jsou schopné upravit rozložení elektrického pole kolem plátku, čímž se výrazně snižují odchylky od leptání nebo jevy výboje způsobené nerovnoměrnými elektrickými poli.

Polovodičové destičky jsou snadno náchylné ke kontaminaci částicemi, takže procesy plazmového leptání musí být prováděny v ultračistých reakčních komorách pro iontové leptání. Jako primární součást leptacího zařízení přicházejí zaostřovací kroužky z karbidu křemíku při skutečném provozu do přímého kontaktu s okrajem plátku, což je také vyžadováno pro splnění extrémně vysokých standardů čistoty. Ostřící kroužky z karbidu křemíku Semicorex nabízejí výhody vysoké čistoty a nízkého obsahu nečistot, které mohou přesně splnit přísné požadavky na čistotu procesů leptání polovodičů. To značně přispívá ke snížení defektů oplatek a zlepšuje výtěžnost výroby waferů.

Během procesu plazmového leptání se do reakční komory zavádějí leptací plyny, jako je fluor a kyslík. Odolnost leptacího zařízení proti chemické korozi je vážně ohrožena dlouhodobou korozí způsobenou procesními plyny. Díky své vynikající odolnosti vůči plazmové korozi je karbid křemíku optimální volbou materiálu pro výrobu ohniskových kroužků. Snížením možnosti poškození součástí souvisejícím s korozí a minimalizací potřeby časté výměny a údržby mohou fokusační kroužky z karbidu křemíku výrazně zvýšit efektivitu výroby polovodičových destiček.