Zaostřovací kroužek z karbidu křemíku

Zaostřovací kroužek z karbidu křemíku Semicorex je klíčovou součástí při výrobě polovodičů, strategicky umístěný mimo destičku, aby byl zachován přímý kontakt. Využitím aplikovaného napětí tento prstenec soustředí plazmu, která jím prochází, a tím zvyšuje rovnoměrnost procesu na plátku. Tento zaostřovací kroužek, vyrobený výhradně z karbidu křemíku pro chemické nanášení z plynné fáze (CVD SiC), ztělesňuje výjimečné kvality požadované polovodičovým průmyslem. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných zaostřovacích kroužků z karbidu křemíku, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Při výrobě polovodičů má Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring klíčovou roli tím, že funguje jako štít a zachovává integritu destičky během procesu leptání. Jeho pečlivě navržený design zajišťuje přesné a jednotné leptání, čímž usnadňuje výrobu vysoce složitých polovodičových prvků, které vykazují vynikající výkon a spolehlivost.

Karbid křemíku je materiálem volby pro zaostřovací kroužek kvůli jeho vynikající odolnosti vůči korozi plazmatu při vystavení plazmatu ve vakuové reakční komoře. Zaostřovací kroužek z karbidu křemíku předčí tradiční křemík v několika aspektech, včetně:

(1) Vysoká hustota, která minimalizuje rychlost leptání.

(2) Vynikající pásová mezera a vynikající izolační vlastnosti.

(3) Výjimečná tepelná vodivost, nízký koeficient tepelné roztažnosti a odolnost proti tepelným šokům.

(4) Vysoká elasticita spojená s vynikající odolností proti mechanickým nárazům.

(5) Vynikající tvrdost, odolnost proti opotřebení a odolnost proti korozi.

Vodivost karbidu křemíku a odolnost vůči iontovému leptání jsou podobné křemíku, díky čemuž je zaostřovací kroužek z karbidu křemíku ideálním materiálem pro tuto aplikaci.

Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring představuje nejmodernější řešení v oblasti výroby polovodičů. Využívá jedinečných vlastností CVD SiC k usnadnění spolehlivých, vysoce výkonných leptacích procesů, což významně přispívá k pokroku polovodičové technologie.