Grafitové díly potažené TaC

Semicorex TaC Coated Graphite Parts jsou vyrobeny z vysoce čistého izostatického grafitu a jsou potaženy karbidem tantalu (TaC), který poskytuje bezkonkurenční odolnost vůči extrémním teplotám. Grafitové díly potažené TaC jsou navrženy tak, aby vydržely přísné podmínky, se kterými se setkáváme při výrobě polovodičů, a jsou vynikající při zlepšování různých procesů, které jsou klíčové pro výrobu vysoce kvalitních polovodičových produktů. Jejich výjimečná tepelná odolnost zajišťuje spolehlivost a dlouhou životnost i v těch nejnáročnějších tepelných prostředích.

Grafitové díly potažené TaC hrají klíčovou roli při optimalizaci klíčových technik zpracování polovodičů, včetně difúzních procesů, oxidačního žíhání, LPCVD a PECVD. Usnadněním přesné regulace teploty a zajištěním stejnoměrnosti napříč substráty přispívají grafitové díly potažené TaC významně ke zlepšení kvality produktu a efektivity výroby.

Grafitové díly s povlakem Semicorex TaC jsou navrženy tak, aby splňovaly přísné požadavky na výrobu polovodičů. Grafitové díly s povlakem TaC jsou nepostradatelným aktivem při snaze o dokonalost ve výrobě polovodičů, od zlepšení difúzních procesů až po zlepšení kvality a účinnosti různých technik nanášení.