Těsnicí kroužek potažený TaC

Těsnící kroužek s povlakem Semicorex TaC aplikovaný na těsnicí součásti poskytuje výjimečné výkonnostní výhody v náročných prostředích výroby polovodičů. TaC povlak řeší kritické problémy související s chemickou odolností, extrémními teplotami a mechanickým opotřebením, umožňuje vyšší výtěžnost procesu, delší dobu provozuschopnosti zařízení a v konečném důsledku nižší výrobní náklady. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných těsnicích kroužků potažených TaC, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.**

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Těsnící kroužek potažený Semicorex TaC vykazuje vynikající inertnost vůči širokému spektru korozivních plynů a chemikálií používaných v polovodičových procesech, včetně chemie plazmového leptání (např. fluor, chlor, brom), dopantů (např. bor, fosfor, arsen) a agresivních čisticí prostředky. Tato inertnost zabraňuje degradaci těsnění a kontaminaci citlivých procesních komor.

A s bodem tání přesahujícím 3800 °C si těsnicí kroužek potažený TaC zachovává svou strukturální integritu a mechanickou pevnost při zvýšených teplotách, ke kterým dochází během zpracování plátků. To zajišťuje spolehlivý těsnicí výkon během vysokoteplotního žíhání, nanášení a leptání.

Extrémní tvrdost a nízký koeficient tření těsnicího kroužku potaženého TaC poskytuje výjimečnou odolnost proti opotřebení, poškrábání a oděru. To je kritické v aplikacích dynamického těsnění, kde opakovaný pohyb nebo kontakt s destičkami a jinými součástmi může vést k tvorbě částic a selhání těsnění.

Těsnicí kroužek potažený TaC vykazuje velmi nízkou rychlost odplyňování, a to i při zvýšených teplotách, díky čemuž je ideální pro aplikace s vysokým vakuem. To zajišťuje čistotu procesu a zabraňuje usazování nežádoucích nečistot na citlivých površích plátků.

Specifické výhody v polovodičových aplikacích:

Prodloužená životnost těsnění:Těsnicí kroužek potažený TaC výrazně prodlužuje životnost těsnění tím, že poskytuje vynikající odolnost proti chemickému napadení, tepelné degradaci a mechanickému opotřebení. To snižuje četnost výměn těsnění, minimalizuje prostoje a náklady na údržbu.

Zlepšená výtěžnost procesu a kvalita plátků:Inertní povaha těsnicího kroužku potaženého TaC minimalizuje tvorbu částic a kontaminaci, což vede k vyšším výtěžkům procesu a lepší kvalitě plátků. To je rozhodující pro výrobu vysoce výkonných polovodičových součástek s přísnými tolerancemi vad.

Vylepšená doba provozuschopnosti zařízení a produktivita:Delší životnost těsnění a snížené nároky na údržbu přispívají ke zvýšení provozuschopnosti zařízení a celkové produktivitě. To je zásadní pro maximalizaci výkonu a splnění požadavků velkoobjemové výroby polovodičů.