Susceptor potažený TaC

Semicorex TaC Coated Susceptor, vyrobený z materiálu na bázi grafitu, je potažen karbidem tantalu (TaC) pro zvýšení jeho výkonu a odolnosti.

Karbid tantalu nabízí výjimečnou tepelnou stabilitu a umožňuje susceptoru potaženému TaC odolat extrémně vysokým teplotám, s nimiž se často setkáváme v procesech, jako je chemické nanášení z plynné fáze (CVD) a fyzikální nanášení z plynné fáze (PVD). A povlak TaC poskytuje vynikající odolnost proti chemickým reakcím, oxidaci a korozi, což je zásadní pro zachování integrity a výkonu v drsných chemických prostředích.

Jednotné a stabilní tepelné vlastnosti susceptoru potaženého TaC zlepšují konzistenci a kvalitu procesů, ve kterých se používají, což vede k lepšímu výtěžku a účinnosti při výrobě polovodičů.

Mezitím použití TaC susceptoru potaženého TaC minimalizuje riziko kontaminace v polovodičových procesech, což je rozhodující pro výrobu vysoce čistých a bezchybných elektronických součástek.

Aplikace susceptoru potaženého TaC:

Výroba polovodičů: Používá se v procesech CVD a PVD k nanášení tenkých filmů a epitaxních vrstev na polovodičové destičky.

Výroba LED: Používá se při výrobě světelných diod (LED), kde jsou vyžadovány přesné a stabilní tepelné podmínky.

Výroba solárních článků: Používá se při výrobě fotovoltaických článků pro zvýšení účinnosti a spolehlivosti.

Susceptor Semicorex TaC Coated Susceptor je rozhodující v pokročilých výrobních procesech, kde je vyžadována vysoká tepelná stabilita, chemická odolnost a trvanlivost. Jejich aplikace zajišťuje zlepšený výkon, dlouhou životnost a kvalitu produktů v high-tech odvětvích.