Trubka potažená TaC

Semicorex TaC Coated Tube představuje vrchol materiálové vědy, navržený tak, aby vydržel extrémní podmínky, se kterými se setkáváme při výrobě pokročilých polovodičů. Trubka s povlakem TaC, vytvořená nanesením husté, jednotné vrstvy TaC na vysoce čistý izotropní grafitový substrát prostřednictvím chemické depozice z plynné fáze (CVD), nabízí přesvědčivou kombinaci vlastností, které předčí běžné materiály v náročných vysokoteplotních a chemicky agresivních prostředích. **

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Síla Semicorex TaC Coated Tube spočívá v synergické kombinaci základního materiálu a specializovaného povlaku:

Vysoce čistý izotropní grafitový základ:Jádro trubice potažené TaC je tvořeno izotropním grafitem o vysoké čistotě, který je známý pro svou vynikající tepelnou vodivost, nízkou tepelnou roztažnost a vlastní odolnost vůči teplotním šokům. Tento základ poskytuje robustní a stabilní platformu schopnou odolat rychlým teplotním výkyvům a vysokému tepelnému zatížení charakteristické pro zpracování polovodičů.

Karbid tantalu---Štít odolnosti a netečnosti:Povlak TaC aplikovaný CVD transformuje grafitový substrát a dodává mu výjimečnou tvrdost, odolnost proti opotřebení a chemickou inertnost. Tato ochranná vrstva působí jako bariéra proti agresivním plynům, plazmatu a reaktivním látkám, se kterými se setkáváme při výrobě polovodičů, a zajišťuje strukturální integritu a dlouhou životnost trubice.

Tato jedinečná kombinace materiálů se promítá do řady výhod, které jsou rozhodující pro pokročilou výrobu polovodičů:

Bezkonkurenční teplotní odolnost:TaC se může pochlubit jedním z nejvyšších bodů tání ze všech známých materiálů, předčí dokonce i karbid křemíku (SiC). Tato extrémní teplotní odolnost umožňuje TaC Coated Tube spolehlivě fungovat v procesech vyžadujících teploty přesahující 2500 °C, což umožňuje výrobu polovodičových součástek nové generace s náročnými tepelnými rozpočty.

Ultra vysoká čistota pro řízení kritických procesů:Udržování původního procesního prostředí je při výrobě polovodičů prvořadé. Použití vysoce čistého grafitu a pečlivý proces potahování CVD zajišťují minimální uvolňování plynů nebo tvorbu částic z trubice potažené TaC, což zabraňuje kontaminaci, která by mohla ohrozit citlivé povrchy plátků a výkon zařízení.

Neochvějná chemická odolnost:Chemická inertnost trubice potažené TaC poskytuje výjimečnou odolnost vůči široké škále korozivních plynů, reaktivních iontů a plazmových prostředích běžně používaných v polovodičových procesech, jako je leptání, nanášení a žíhání. Tato robustní chemická stabilita se promítá do prodloužené životnosti trubek, snížených požadavků na údržbu a nižších celkových nákladů na vlastnictví.

Vylepšená mechanická odolnost pro prodlouženou životnost:Silná vazebná síla mezi povlakem TaC a grafitovým substrátem spolu s vlastní tvrdostí trubice s povlakem TaC poskytuje výjimečnou odolnost proti opotřebení, erozi a mechanickému namáhání. Tato zvýšená odolnost se promítá do delší životnosti a zkrácení prostojů při výměně, což zlepšuje efektivitu procesu a propustnost.