Vodicí kroužek povlaku TaC

FunkceVodicí kroužek povlaku TaC:

Přesná regulace průtoku plynu:Vodicí kroužek povlaku TaC je strategicky umístěn v systému vstřikování plynu reaktoru MOCVD. jeho primární funkcí je usměrňovat tok prekurzorových plynů a zajišťovat jejich rovnoměrnou distribuci po povrchu substrátové destičky. Toto přesné řízení dynamiky proudění plynu je nezbytné pro dosažení jednotného růstu epitaxní vrstvy a požadovaných vlastností materiálu.

Tepelný management:Vodicí kroužek povlaku TaC často pracuje při zvýšených teplotách kvůli jejich blízkosti k vyhřívanému susceptoru a substrátu. Vynikající tepelná vodivost TaC pomáhá účinně odvádět teplo, zabraňuje lokalizovanému přehřátí a udržuje stabilní teplotní profil v reakční zóně.

Výhody TaC v MOCVD:

Odolnost vůči extrémním teplotám:TaC se může pochlubit jedním z nejvyšších bodů tání mezi všemi materiály, přesahujícími 3800 °C. 

Vynikající chemická inertnost:TaC vykazuje výjimečnou odolnost vůči korozi a chemickému napadení reaktivními prekurzorovými plyny používanými v MOCVD, jako je amoniak, silan a různé organické sloučeniny kovů.

Porovnání korozní odolnosti TaC a SiC

Nízká tepelná roztažnost:Nízký koeficient tepelné roztažnosti TaC minimalizuje rozměrové změny způsobené kolísáním teploty během procesu MOCVD. 

Vysoká odolnost proti opotřebení:Tvrdost a trvanlivost TaC poskytuje vynikající odolnost proti opotřebení neustálým prouděním plynů a potenciálních částic v systému MOCVD. 

Výhody pro výkon MOCVD:

Použití vodícího kroužku Semicorex TaC v zařízení MOCVD významně přispívá k:

Vylepšená uniformita epitaxní vrstvy:Přesná regulace průtoku plynu usnadněná vodicím kroužkem povlaku TaC zajišťuje rovnoměrnou distribuci prekurzoru, což má za následek vysoce rovnoměrný růst epitaxní vrstvy s konzistentní tloušťkou a složením.

Vylepšená stabilita procesu:Tepelná stabilita a chemická inertnost TaC přispívá ke stabilnějšímu a kontrolovanějšímu reakčnímu prostředí v komoře MOCVD, minimalizuje variace procesu a zlepšuje reprodukovatelnost.

Zvýšená doba provozuschopnosti zařízení:Odolnost a prodloužená životnost vodícího kroužku povlaku TaC snižuje potřebu častých výměn, minimalizuje prostoje při údržbě a maximalizuje provozní efektivitu systému MOCVD.