Polovicová část Semicorex TAC je vysoce výkonná složka určená pro použití v procesech SIC epitaxie v pece LPE Epitaxy. Vyberte si Semicorex pro bezkonkurenční kvalitu, přesné inženýrství a závazek k rozvoji excelence výroby polovodičů.*
Polovicová část Polotací polosece Semicorex TAC je komponenta pro přesnost přizpůsobená pro procesy SIC epitaxy v pecích LPE Epitaxy. Tato část, navržená s vysoce čistým tantalum karbidem (TAC), poskytuje výjimečnou tepelnou a chemickou stabilitu a zajišťuje optimální výkon ve vysokoteplotních prostředích.
Části poloměsíce polosolací poloměsíce polokorex jsou vytvořeny tak, aby splňovaly přísné požadavky na pokročilé polovodičové výroby. Potahování TAC poskytuje vynikající odolnost vůči korozi a oxidaci, prodlouží životnost složky a udržuje konzistentní výkon v prodloužených operačních cyklech. Návrh jeho půlměsíce zvyšuje uniformitu v růstu epitaxiální vrstvy a zlepšuje kvalitu krystalů a spolehlivost procesu.
Ceramika TAC má bod tání až do 3880 ° C, vysokou tvrdost (tvrdost MOHS 9-10), velká tepelná vodivost (22 W · M-1 · K-1), velká ohybová pevnost (340-400MPA) a koeficient malé tepelné expanze (6,6 × 10-6 k-1). Vykazují také vynikající termochemickou stabilitu a vynikající fyzikální vlastnosti a mají dobrou chemickou a mechanickou kompatibilitu s kompozity grafitu a C/C. Proto jsou povlaky TAC široce používány v tepelné ochraně letectví, růstu s jedním krystalem, energetické elektronice a zdravotnických prostředcích.
Grafit potažený TAC má lepší chemickou odolnost proti korozi než holý grafit nebo grafit potažený SiC, lze použít stabilně při vysokých teplotách 2600 ° a nereaguje s mnoha kovovými prvky. Je to nejlepší povlak ve scénářích polovodičového růstu a leptání oplatky třetí generace a může výrazně zlepšit kontrolu teploty a nečistot v tomto procesu a připravit vysoce kvalitní křemíkové karbidové oplatky a související epitaxiální oplatky. Je zvláště vhodný pro pěstování jednokrystalů GAN nebo ALN s vybavením MOCVD a pěstování sic monokrystalů s zařízením PVT. Kvalita dospělých monokrystalů se výrazně zlepšuje.
Tento produkt je ideálním řešením pro výrobce, kteří upřednostňují přesnost, účinnost a trvanlivost v jejich epitaxových procesech. Důvěřujte Semicorex pro vysoce výkonná řešení navržená tak, aby vyhovovala rozvíjejícím se potřebám polovodičového průmyslu.