Planetární deska s povlakem TaC

Semicorex TaC Coating Planetary Plate je vysoce výkonný komponent navržený speciálně pro systémy MOCVD. Tato planetová deska s povlakem TaC, navržená pro optimální odolnost a tepelnou stabilitu, je nezbytná pro zajištění rovnoměrného nanášení a vysoce kvalitního růstu filmu v procesech výroby polovodičů.

TaC Coating Planetary Plate je vyroben z vysoce kvalitního karbidu tantalu, který je známý svou mimořádnou tvrdostí, tepelnou vodivostí a odolností vůči chemické korozi, což zajišťuje prodlouženou životnost a konzistentní výkon při vysokých teplotách. Vynikající tepelná stabilita karbidu tantalu zajišťuje, že deska odolá extrémním teplotám, s nimiž se setkáváme během procesů MOCVD, při zachování strukturální integrity a konzistence výkonu.

Vhodné pro různé aplikace MOCVD, včetně depozice III-V polovodičů, nitridů, oxidů a dalších sloučenin. Konstrukce TaC Coating Planetary Plate vyhovuje různým konfiguracím reaktorů a velikostem substrátu a poskytuje flexibilitu pro různé výrobní požadavky.

Investujte do Semicorex TaC Coating Planetary Plate, abyste dosáhli bezkonkurenční spolehlivosti a účinnosti ve vašich polovodičových procesech. Byl navržen s ohledem na požadavky výroby polovodičů a je důkazem špičkového inženýrství a materiálové vědy.