Vodicí kroužky potažené karbidem tantalu

Vodící kroužky jsou typicky instalovány nad grafitovým kelímkem v systému tepelného pole. Pracují ve spojení s kelímkem, ohřívačem a termoizolačním válcem a dalšími polovodičovými součástmi pro vedení a řízení distribuce tepla a procesních plynů.

Avýhodyz Tpovlak z karbidu antalu

Známý pro vynikající výkonTaC povlakv aplikacích pro růst polovodičových monokrystalů třetí generace nabízí povlak karbidu tantalu následující výhody:

1. Výjimečná tepelná stabilita

Karbid tantalu se vyznačuje vynikající tepelnou odolností s ultra vysokým bodem tání 3880℃. Díky této výjimečné tepelné stabilitě mohou být vodicí kroužky Semicorex potažené karbidem tantalu stabilně používány v prostředí s vysokou teplotou pod 2500 °C. Kombinace těchto dvou materiálů navíc minimalizuje rizika praskání a odlupování povlaku způsobené změnami teplot, což významně umožňuje strukturální integritu součásti během opakovaných procesů ohřevu a chlazení.

2. Pozoruhodná odolnost proti korozi

Karbid tantalu má pozoruhodnou odolnost proti korozi a oxidaci a je chemicky inertní vůči většině reaktivních plynů, jako je čpavek, vodík a křemík. Díky této chemické stabilitě vodicí kroužky Semicorex potažené karbidem tantalu účinně zabraňují reaktivním plynům erodovat matrici a poškozovat její strukturní integritu a zároveň se vyhýbat riziku kontaminace reaktanty a nečistotami vstupujícími do krystalové struktury.

Výkon vodicích kroužků Semicorex potažených karbidem tantalu

Semicorexvodicí kroužky potažené karbidem tantalupoužijte vysoce čistý grafit jako matrici a naneste povlak TaC na povrch pomocí technologie CVD. Kombinace těchto dvou materiálů umožňuje, aby vodicí kroužky Semicorex potažené karbidem tantalu poskytovaly následující výhody:

1.Navádění proudění plynu a optimalizace proudového pole

Během růstu krystalů pomáhá použití vodicích kroužků optimalizovat distribuci toku v tepelném poli a nasměruje reaktivní plyny do řiditelného směru toku a rovnoměrné distribuce. Díky své speciální konstrukci mohou vodicí kroužky Semicorex potažené karbidem tantalu vést plyn tak, aby proudil a distribuoval rovnoměrně, což účinně zabraňuje příliš vysokým nebo nízkým místním koncentracím plynu.

2. Regulace teploty a optimalizace tepelného pole

Vodicí kroužky Semicorex potažené karbidem tantalu vykazují vynikající tepelnou vodivost, hrají klíčovou roli při regulaci rozložení teploty a poskytují stabilní teplotní pole pro růst krystalů. Například vodicí kroužky Semicorex potažené karbidem tantalu mohou pomoci udržet teplotní gradient při růstu PVT krystalů karbidu křemíku a zajistit, že se materiály za vhodných podmínek rozloží, transportují a krystalizují.