Kelímek z karbidu tantalu

Semicorex Tantalum Carbide Crucible je pečlivě vyroben z grafitu, který je následně potažen karbidem tantalu (TaC), což je kombinace, která poskytuje vynikající výkon ve vysokoteplotním a chemicky náročném prostředí růstu krystalů SiC.

Karbid tantalu je žáruvzdorný keramický materiál známý pro svou výjimečnou tvrdost, chemickou odolnost a schopnost zachovat strukturální integritu při extrémně vysokých teplotách. Potažením grafitového kelímku TaC zdědí kelímek z karbidu tantalu tyto výhodné vlastnosti, což výrazně zvyšuje jeho výkon a životnost. Povlak TaC působí jako ochranná bariéra, která zabraňuje grafitu reagovat s materiálem SiC nebo jinými plyny přítomnými během procesu růstu. To zajišťuje, že si kelímek zachová svou integritu a nevnáší do něj žádné nečistoty, které by mohly ohrozit kvalitu krystalů SiC.

Kelímek z karbidu tantalu má schopnost pracovat při zvýšených teplotách požadovaných pro růst krystalů SiC. Krystaly SiC se typicky pěstují při teplotách přesahujících 2000 °C a pro výrobu vysoce kvalitních krystalů je klíčové udržovat trvale takové vysoké teploty. TaC-potažený grafitový kelímek může odolat těmto extrémním podmínkám bez deformace nebo degradace a poskytuje stabilní prostředí pro proces růstu krystalů. Tato stabilita je nezbytná pro dosažení požadované velikosti krystalu, čistoty a strukturních vlastností potřebných pro polovodičové aplikace.

Kelímek z karbidu tantalu má silnou chemickou odolnost, díky čemuž je nezbytný pro růst krystalů SiC. Během procesu růstu jsou zaváděny různé plyny a reaktivní látky, které napomáhají tvorbě krystalů SiC. Tato prostředí mohou být vysoce korozivní, což představuje riziko pro strukturální integritu kelímku. Povlak TaC účinně chrání grafit před těmito korozivními prvky a zajišťuje, že kelímek zůstane během procesu neporušený a funkční. Tato odolnost vůči chemickému napadení nejen prodlužuje životnost kelímku, ale také přispívá k celkové účinnosti a hospodárnosti operace růstu krystalů.