Teflonové kazety

Semicorex teflonové kazety jsou vysoce výkonné nosiče destiček speciálně navržených pro použití v požadované chemické prostředí, kde je nezbytná čistota, chemická odolnost a tepelná stabilita. Tyto kazety, vyrobené z vysoce čistého polytetrafluorethylenu (PTFE), se široce používají ve výrobě polovodičů, mokrém leptání, chemickém čištění a dalších aplikacích, kde je expozice vysoce agresivním chemikáliím rutinní. Díky jejich nereaktivní povaze z nich činí ideální pro manipulaci s jemnými substráty, jako jsou křemíkové oplatky, skleněné panely a další přesné komponenty, aniž by do procesu zavedly kontaminaci nebo částice.

V různých procesech výroby polovodičů, jako je litografie, leptání a implantace iontů, hrají kazety roli při přepravě a přenosu oplatků mezi různými zařízeními. Různá procesní zařízení může mít na kazety různé požadavky na rozhraní, aby se zajistilo, že nosiče oplatky mohou být přesně přijímány a umístěny.

Z pohledu materiálu a designu mají materiály, které jsou odolné proti teplu, vynikající mechanické vlastnosti, rozměrovou stabilitu a jsou obecně používány odolné, antistatické, nízké outgassing, nízké srážení a recyklovatelné. Různé velikosti oplatky, procesní uzly a procesy používají různé materiály. Obecné materiály jsou PFA, PTFE, PP, Peek, PES, PC, PBT, PEI, COP atd.

Teflonové kazety nabízejí vynikající chemickou odolnost v prostředích s použitím kyseliny hydrofluorové, kyseliny dusičné, kyseliny sírové a dalších silných koroziv. Na rozdíl od konvenčních materiálů, jako je polypropylenová nebo nerezová ocel, PTFE se zhoršuje; Nebohá; Vyluhuje žádné látky v drsných chemických lázních. Výkon je proto zaručen po dlouhou dobu, a proto spolehlivost kazet pro vysoce výkonné produkční linky a ultra čisté prostředí. Jeho robustnost znamená nižší potřeby údržby a četnost výměny, čímž se snižuje dlouhodobé provozní náklady.

Teflonové kazety vykazují velmi vysokou tepelnou stabilitu. Mohou snadno odolat teplotám od -200 ° C do +260 ° C, použitelné pro kryogenní i pro vysokoteplotní procesy. Dokonce umístěné v vyhřívaných sušicích komorách nebo chladných chemických lázních, kazety neztratí svou strukturální sílu; Nerodí ani prasknou, což zajišťuje, že během zpracování zůstanou oplatky bezpečně drženy. Tato odolnost teploty významně přispívá k řízení a uniformitě zpracování, které jsou kritické pro výrobu polovodičů a MEMS.

Stejně důležitou charakteristikou teflonových kazet je jeho inertní, nepřilnavý povrch. PTFE neodmyslitelně neumožňuje adsorpci částic a chemických zbytků, čímž se snižuje rizika kontaminace v prostředích čistého pokoje. To musí být spojeno s hladkým povrchovým povrchem, který umožňuje rychlé oplachování a rychlé sušení, takže výsledky čistších výsledků a rychlejší doby cyklu. Při polovodičovém zpracování, kde mohou být defekty způsobeny dokonce i mikroskopickými kontaminanty, je tato čistota a chemická úroveň setrvačnosti povinná.

Každá kazeta je přesně vyrobena na tolerance těsné velikosti, což zaručuje stabilní zarovnání a rozestupy stabilního oplatku při pohybu a umístění do kapaliny. Jejich snadno navržená forma pomáhá rychlému chemickému toku a drenáži, což zrychluje chemické směnné sazby a zlepšuje čisticí nebo leptací uniformitu na povrchu oplatky.  Kazety jsou k dispozici ve standardních velikostech pro 4palcové, 6-palcové a 8palcové oplatky, s možnostmi přizpůsobení, aby vyhovovaly konkrétním rozměrům substrátu, počtu slotů a požadavků na manipulaci.

Teflonové kazety, které jsou navrženy pro kompatibilitu s automatizovanými mokrými lavičkami a systémy manipulace s robotickými oplatky, se snadno integrují do většiny nastavení výroby polovodičů. Jejich robustní konstrukce a povrchové úpravy splňuje přísné požadavky prostředí certifikovaného ISO. Všechny kazety podléhají důkladné inspekci a jsou předem vyčištěny v ultračisté vodě, aby splňovaly standardy čistoty potřebné pro pokročilou produkci mikroelektroniky. Osvědčení o shodě a plné sledovatelnosti materiálu lze zajistit, aby bylo zajištěno dodržování protokolů pro zajištění kvality.