Broušení okraje oplatky

Sticorex Wafer Edge Ground Chuck je vyhrazená keramická část vytvořená pro proces broušení okraje oplatky během výroby polovodičů. Keramika je vyrobena z vysoké čistoty, bílé aluminy (al₂o₃) s mechanickou pevností, chemickou odolností a rozměrovou stabilitou pro podporu procesu broušení oplatky. Vzhledem k tomu, že nové technologie vyžadují větší průměry oplatky a jemnější struktury v zařízeních, nyní hraje broušení okrajů oplatky významnou roli při prevenci štěpení na okraji, mikrotočení a výnosu. Hlisovací keramické mletí sklíčivo poskytuje stabilní základní linii, na které lze splnit tyto přísné výrobní požadavky.

Alumina keramikase používá jako materiál konstrukce kvůli jeho neuvěřitelným fyzickým, chemickým a tepelným vlastnostem. Bílá alumina má vynikající tvrdost pouze s diamantem, který se řadí na vyšší stupnici mohs tvrdosti, což umožňuje broušení sklíčivo odolat opotřebení do dohledné budoucnosti opakováním. Vzhledem k značné mechanické pevnosti oxidu hlinité může být oplatka bezpečně uchopena a držena, zatímco rigidita oxidu neumožňuje zkreslení ani deformaci, pokud je na součást aplikováno zátěž. Vzhledem k tomu je Alumina vynikající volbou pro výrobu příslušenství a podpory, kde je vyžadována přesnost a trvanlivost.

Tepelná stabilita je také výraznou vlastností keramiky oxidu hlinité. S bodem tání větší než 2000 ° C a stabilitou tepelného nárazu může sklíčidlo probíhat v podmínkách, kde může dojít k třecímu zahřívání nebo změně teploty, je konzistentní w.r.t, kde je rozměrová stabilita kritická, i když tvar broušení hrany může propůjčit trochu změny v rozměru. Upínací síla zůstává silná pro trvalé udržování vyrovnání při mletí okrajů. Nízká tepelná vodivost aluminy by neměla umožnit lokalizovanému vytápění, aby se oplatky dostatečně zahřál pro jakýkoli kompromis integrity oplatky při zpracování jemných substrátů polovodičů.

Z chemického hlediska má ceramika alumina malou reakci na kyseliny, alkaliky a plazmatické prostředí polovodičového zpracování. Na rozdíl od kovových upínačů, které mohou korodovat nebo polymerní příslušenství, které mohou i nadále degradovat bez explicitního monitorování, je keramika aluminy vůči těmto každodenním servisním cyklům při zpracování polovodičů. Tato inertnost zajistí nulovou kontaminaci povrchu oplatky a bude udržovat čistotu procesu a zároveň omezí jakoukoli ztrátu výnosu.

V dnešním polovodičovém výrobním prostředí je proces broušení okrajů mnohostranný: připravuje oplatku pro následné zpracování a také poskytuje bezpečné přepravu, manipulaci a integraci do nejmodernějších litografických a leptaných nástrojů. V tomto je mletí okraje oplatky důležitým kusem hádanky bezpečného připojení oplatky, přesně a přímo přispívá ke spolehlivosti a výkonnost produktu. S investicí do keramiky Alumina se čas ušetří tím, že má prodlouženou dlouhověkost takového aktiva omezit prostoje, snížit náklady na díly a maximalizovat účinnost zařízení (OEE).

Chuck Chuck z oplatky vyrobeného z oplatkyAlumina keramikapředstavuje všechny výhody sofistikované materiálové vědy a přesného inženýrství. Příkladem je vlastnosti tvrdosti, odolnosti proti opotřebení, tepelné stability a chemické setrvačnosti nezbytné pro proces výroby polovodičů. Robustní výkon může vést ke spolehlivé kvalitě okraje oplatky, dobrému výnosu a prodloužené životnosti zařízení. Pro výrobce polovodičů, kteří se zavázali k bezvadné přesnosti a efektivitě, je řešením broušení hlinitého okraje oplatky.