Semicorex poskytuje SiC ingot typu N se 4 palci, 6 palci a 8 palci. Již řadu let vyrábíme a dodáváme oplatky. Náš 4" 6" 8" SiC Ingot typu N má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Specifikace 4palcových ingotů SiC typu N |
||||||||
Položky |
Výrobní stupeň |
Dummy stupeň |
||||||
Polytype |
4H |
|||||||
Dopant |
dusík typu n |
|||||||
Odpor |
0,015~0,025 ohm ·cm |
0,015~0,028 ohm ·cm |
||||||
Průměr |
100,25±0,25 mm |
|||||||
Tloušťka |
¥15 mm |
|||||||
Chyba orientace povrchu |
4° směrem k <11-20>±0,2° |
|||||||
Primární orientace bytu |
[1-100]±5,0° |
|||||||
Primární plochá délka |
32,5±1,5 mm |
|||||||
Vedlejší byt |
90,0°CW od primárních ±5,0°, silikonem nahoru |
|||||||
Sekundární plochá délka |
18±1,5 mm |
|||||||
Hustota mikrotrubek |
â¤0,5 ea/cm2 |
â¤10 ea/cm2 |
||||||
BPD |
â¤2000 ea/cm2 |
-- |
||||||
TSD |
â¤500 ea/cm2 |
-- |
||||||
Trhliny na hranách |
â¤3 kaï¼â¤1 mm/ka |
â¤5 kaï¼â¤3 mm/ka |
||||||
Polytypové oblasti |
Žádný |
â¤5 % plochy |
||||||
Odsazení okrajů |
â¤3 eaï¼â¤1 mm šířka a hloubka |
â¤5 eaï¼â¤2 mm šířka a hloubka |
||||||
Označení |
C-obličej |
|||||||
Obal |
jednotková ingotová kazeta, vakuové balení |
|||||||
Specifikace 6palcových ingotů SiC typu N |
||||||||
Položky |
Výrobní stupeň |
Dummy stupeň |
||||||
Polytype |
4H |
|||||||
Dopant |
dusík typu n |
|||||||
Odpor |
0,015~0,025 |
0,015~0,028 |
||||||
Průměr |
150,25±0,25 mm |
|||||||
Tloušťka |
¥15 mm |
|||||||
Chyba orientace povrchu |
4° směrem k <11-20>±0,2° |
|||||||
Primární orientace bytu |
[1-100]±5,0° |
|||||||
Primární plochá délka |
47,5±1,5 mm |
|||||||
Hustota mikrotrubek |
â¤0,5 ea/cm2 |
â¤10 ea/cm2 |
||||||
BPD |
â¤2000 ea/cm2 |
-- |
||||||
TSD |
â¤500 ea/cm2 |
-- |
||||||
Trhliny na hranách |
â¤3 kaï¼â¤1 mm/ka |
â¤5 kaï¼â¤3 mm/ka |
||||||
Polytypové oblasti |
Žádný |
â¤5 % plochy |
||||||
Odsazení okrajů |
â¤3 eaï¼â¤1 mm šířka a hloubka |
â¤5 eaï¼â¤2 mm šířka a hloubka |
||||||
Označení |
C-obličej |
|||||||
Obal |
jednotková ingotová kazeta, vakuové balení |
|||||||
Specifikace 8palcových ingotů SiC typu N |
||||||||
Položky |
Výrobní stupeň |
Stupeň výzkumu |
Dummy stupeň |
|||||
Polytype |
4H |
|||||||
Dopant |
dusík typu n |
|||||||
Odpor |
0,015~0,028 |
0,01~0,04 |
NA |
|||||
Průměr |
200,25±0,25 mm |
|||||||
Tloušťka |
NA |
|||||||
Chyba orientace povrchu |
4° směrem k <11-20>±0,5° |
|||||||
Orientace zářezu |
[1-100]±5,0° |
|||||||
Hloubka zářezu |
1~1,5 mm |
|||||||
Hustota mikrotrubek |
â¤2 ea/cm2 |
â¤10 ea/cm2 |
â¤50 ea/cm2 |
|||||
BPD |
â¤2000 ea/cm2 |
â¤500 ea/cm2 |
-- |
|||||
TSD |
â¤500 ea/cm2 |
â¤1000 ea/cm2 |
-- |
|||||
Trhliny na hranách |
â¤3 kaï¼â¤1 mm/ka |
â¤4 kaï¼â¤2 mm/ka |
â¤5 kaï¼â¤3 mm/ka |
|||||
Polytypové oblasti |
Žádný |
⤠20 % plochy |
⤠30 % plochy |
|||||
Odsazení okrajů |
â¤3 eaï¼â¤1 mm šířka a hloubka |
â¤4 eaï¼â¤2 mm šířka a hloubka |
â¤5 eaï¼â¤2 mm šířka a hloubka |
|||||
Označení |
C-obličej |
|||||||
Obal |
jednotková ingotová kazeta, vakuové balení |