Semicorex poskytuje vysoce čistý poloizolační SiC ingot se 4 palci a 6 palci. Již řadu let vyrábíme a dodáváme oplatky. Náš 4" 6" vysoce čistý poloizolační SiC ingot má dobrou cenovou výhodu a pokrývá většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Specifikace 4palcového poloizolačního SiC ingotu |
||
Položky |
Výrobní stupeň |
Dummy stupeň |
Polytyp |
4H |
|
Odpor/ohm ·cm |
NA |
|
Průměr |
100,25±0,25 mm |
|
Tloušťka |
¥15 mm |
|
Chyba orientace povrchu |
0±0,2° |
|
Primární orientace bytu |
[1-100]±5,0° |
|
Primární plochá délka |
32,5±1,5 mm |
|
Vedlejší byt |
90,0°CW od primární ±5,0°, křemíkem nahoru |
|
Sekundární plochá délka |
17±1,5 mm |
|
Hustota mikrotrubek |
â¤1 ea/cm2 |
â¤10 ea/cm2 |
Trhliny na hranách |
â¤3 kaï¼â¤1 mm/ka |
â¤5 kaï¼â¤3 mm/ka |
Polytypové oblasti |
Žádný |
â¤5 % plochy |
Odsazení okrajů |
â¤3 eaï¼â¤1 mm šířka a hloubka |
â¤5 eaï¼â¤2 mm šířka a hloubka |
Označení |
C-obličej |
|
Obal |
jednotková ingotová kazeta, vakuové balení |
Specifikace 6palcových poloizolačních SiC ingotů |
||
Položky |
Výrobní stupeň |
Dummy stupeň |
Polytyp |
4H |
|
Odpor/ohm ·cm |
NA |
|
Průměr |
150,25±0,25 mm |
|
Tloušťka |
¥10 mm |
|
Chyba orientace povrchu |
0±0,25° |
|
Orientace zářezu |
[1-100]±5,0° |
|
Hloubka zářezu |
1~1,25 mm |
|
Hustota mikrotrubek |
â¤1 ea/cm2 |
â¤10 ea/cm2 |
Trhliny na hranách |
â¤3 kaï¼â¤1 mm/ka |
â¤5 kaï¼â¤3 mm/ka |
Polytypové oblasti |
Žádný |
â¤5 % plochy |
Odsazení okrajů |
â¤3 eaï¼â¤1 mm šířka a hloubka |
â¤5 eaï¼â¤2 mm šířka a hloubka |
Označení |
C-obličej |
|
Obal |
jednotková ingotová kazeta, vakuové balení |