8 palcový EPI Top Ring

Semicorex 8 palcový EPI Top Ring je specializovaná součást depozičních systémů epitaxiálních (EPI), které poskytují vysoký výkon jako horní krycí kroužek v reakční komoře. Se zaměřením na strukturální integritu a tepelnou stabilitu během epitaxiálního růstu polovodičových oplatků je EPI horní prsten vyroben z vysoce čistého grafitu a potažen karbidem křemíku (SIC), aby odolával teplotě a chemicky reaktivním prostředími polovodičové výroby.

V epitaxiálních reaktorech pomáhá horní prsten udržet prostředí destičky a hraje důležitou roli v teplotní uniformitě a průtoku plynu během depozice v rámci sestavy susceptoru. Povlak SIC na grafitovém substrátu poskytuje hornímu kroužku EPI tepelnou stabilitu a inertní prostředí potřebné k ochraně grafitového jádra v důsledku expozice procesů procesů během výkonu horního prstence EPI (vodík, silan, clorosilany atd.). Tvrdost a vodivost vrstvy SIC zvyšuje výkon horního prstence EPI tím, že zabraňuje degradaci a umožňuje stabilnější vrstvy během výrobního cyklu.

Se závazkem k rozměrové přesnosti, konzistenci povlaku a opakovatelnosti je 8 palcový horní kroužek EPI vyráběn s přesným inženýrstvím. Grafitový substrát je obroben tak, aby těsné tolerance a tepelně purifikován, aby segregoval nečistoty a dodával čistý substrát s vynikající čistotou a pevností. Potahování SIC se aplikuje prostřednictvím chemické depozice par (CVD), za vzniku husté, konzistentní a silně vázané ochranné vrstvy. Tento proces minimalizuje generování částic a umožňuje povlaku udržovat integritu povrchu během prodlouženého používání.

Výrobci polovodičů se spoléhají na špičkový prsten EPI, aby udrželi kritické parametry komory a podpořili defekty bez vafách během výroby. Konfigurace je navržena pro použití s předními systémy zpracování oplatky OEM 8 palců. Vlastní možnosti jsou k dispozici pro tloušťku, povrchovou úpravu a drážkované vzory pro lepší tepelné správu nebo dokonce distribuci plynu.

Konformování vlastností grafitu potaženého SIC pro tuto aplikaci má kombinaci to nejlepší z vlastností z obou materiálů; Grafit je velmi machinatelný a má odolnost proti tepelnému šoku v kombinaci s karbidem křemíku, který je těžší, odolný proti korozi a má delší životnost. Tato kombinace vám nakonec poskytne špičkový prsten EPI, který je spolehlivý při vysoké teplotě, a zaručuje čisté a stabilní prostředí zpracování, které snižuje intervaly údržby a poskytuje celkově vylepšené dohody vybavení.

Grafitové komponenty hrají nepostradatelnou a klíčovou roli při výrobě polovodičů. Kvalita grafitového materiálu významně ovlivňuje kvalitu hotového produktu. Naše konzistence grafitové dávky a homogenita materiálu jsou kontrolovány a zaručeny v průběhu výrobního procesu.

1. MAMÁLNĚ VYDÁVÁNÍ VÝROBKA S využitím malé karbonizační pece s kapacitou pouhých 50 kubických metrů.

2. každý kus materiálu je monitorován a sledován.

3.Temperature monitorování ve více bodech v peci zajišťuje minimální teplotní rozdíly.

4. Monitorování teploty ve více bodech materiálu zajišťuje minimální teplotní rozdíly.

8palcový prsten EPI od Semicorex nabízí výjimečný výkon, dávkovou konzistenci a prokázanou spolehlivost v nejobtížnějším polovodičovém křemíku, křemíkovém karbidu nebo jiném složeném polovodičovém epitaxie. Při každém výrobním kroku vyrábíme produkty s kontrolou kvality, což znamená, že každý produkt zakoupený pro polovodičový průmysl překračuje specifikace kvality.

Vyberte 8 palcový prsten EPI SIMECOREX pro vaši aplikaci Epitaxy a využít možností nabízených prostřednictvím přesného inženýrství, vynikajících materiálů a aplikačních specifických přizpůsobení pro zlepšení výnosů a výkonu zařízení.