8palcové prsteny destičky

Polovodelní hardware pro zpracování polovodičů, určené k bezpečnému zajištění a podpoře křemíkových oplatků, je důležitými tepelnými, leptacími a depozičními prsteny. Postaveno z vysoce kvalitního grafitu s hustýmpovlak karbidu křemíku (sic)Pro přidanou sílu přináší prsten držáku oplatky vynikající tepelnou stabilitu, chemickou odolnost a mechanickou pevnost, což je ideální pro použití ve vysokoteplotních a korozivních prostředích, jako je CVD (depozice chemických páry), pecvd a epitaxické systémy.

Klíčové funkce:

Složení materiálu:

Substrátový materiál jeVysoký grafit, který je vybrán pro vysokou tepelnou vodivost a strukturální homogenitu. Vysoká hustota a uniformafilmový povlak křemíku (SIC)je aplikován na povrch a vykazuje vysokou odolnost vůči oxidaci a chemickému útoku i při zvýšených teplotách vyšší než 1000 ° C. Směs obsahuje trvanlivost dlouhé doby trvání a minimální riziko kontaminace destiček.

Zabezpečené umístění oplatky

Kruh, navržený zejména pro držení 8 palců (200 mm) oplatky, drží přesné tolerance a optimálně navrženou vnitřní geometrii, aby bezpečně uchopila oplatku. Prsten zůstává stabilní v poloze během tepelného cyklování a průtoku plynu, což minimalizuje mikro pohyb, který by mohl vést k tvorbě částic nebo zlomení oplatky.

Tepelná uniformita:

Inherentní tepelná vodivost grafitového substrátu a stabilita sic povlaku zajišťují konzistentní přenos tepla na povrchu oplatky. To má za následek konzistentní výsledky procesu, snížení tepelného napětí a lepšího výnosu zařízení.

Chemická a plazmová odpor:

Povrch SIC chrání grafitové jádro před tvrdými procesy plazmy a plyny a nabízí odpor k opakovaným procesům procesních cyklů. Chemická inernty je obzvláště prospěšná v leptacích nebo reaktivních plynových prostředích obsahujících halogeny.

Dostupné přizpůsobení:

8palcové prsteny destičky mohou být navrženy tak, aby splňovaly specifické požadavky na vybavení nebo procesy, tj. Změny v návrhu podpory okrajů, umístění slotů a montážní konfigurace. Naši designéři pracují s OEM a FABS, aby poskytli nejvyšší možný výkon pro každé použití.

Aplikace:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Procesy epitaxiálního růstu
• Difúzní pece
• Vysoko teplotní žíhání
• Jiné systémy tepelného zpracování polovodiče

Každé 8palcové kroužky destičky podléhají přísné kontrole, jako je ověření přesnosti rozměru, test adheze povlaku a kvalifikace tepelného cyklování. Naše pokročilá výrobní technologie zajišťuje rovnoměrnou tloušťku povlaku SIC a nejlepší povrchovou úpravu, aby splnila vysoké požadavky polovodičového průmyslu.

Polovodelní prsteny oplatky Semicorex 8 palců (Grafit potažený SIC) jsou nezbytným vybavením pro produkci polovodičů nové generace, které poskytují mechanickou přesnost, odolnost materiálu a chemickou stabilitu. Od upgradů procesních zařízení po konstrukci platforem oplatky nové generace nabízí tento produkt spolehlivost a výkon potřebný k umožnění dnešního náročného výrobního prostředí.