Keramické sklíčidlo z nitridu hliníku

Keramické sklíčidlo z nitridu hliníku představuje špičkové řešení pro zpracování polovodičových destiček, speciálně navržené pro bezpečné držení destiček na místě během různých fází výroby. Toto inovativní zařízení, které funguje jako elektrostatické sklíčidlo (ESC), využívá výjimečné vlastnosti keramiky z nitridu hliníku k zajištění přesné a spolehlivé retence plátků.

Semicorex Aluminium Nitride Ceramic Chuck využívá elektrostatické síly k pevnému uchycení plátku na jeho povrchu. Toho je dosaženo pomocí pečlivě zkonstruované desky s integrovanými elektrodami, které jsou strategicky vychýleny vysokým napětím. Výsledkem je, že se mezi deskou a plátkem vytvoří elektrostatická přídržná síla, která účinně znehybní plátek na místě během fází zpracování.

Jednou z výjimečných vlastností keramického sklíčidla z nitridu hliníku je jeho pozoruhodná kombinace vysoké tepelné vodivosti a izolačních vlastností. Tato jedinečná kombinace vlastností z něj činí ideální volbu materiálu pro aplikace ESC. Vysoká tepelná vodivost zajišťuje efektivní odvod tepla, což je klíčové pro udržení rovnoměrného rozložení teploty v plátku během zpracování. Jeho výjimečné izolační vlastnosti zároveň zajišťují elektrickou izolaci mezi sklíčidlem a destičkou, čímž se minimalizuje riziko elektrického rušení nebo poškození citlivých polovodičových součástek.

Keramické sklíčidlo z nitridu hliníku nabízí několik výhod oproti tradičním materiálům sklíčidla. Jeho robustní konstrukce zajišťuje dlouhodobou odolnost a je schopna odolat přísným požadavkům prostředí výroby polovodičů. Navíc jeho kompatibilita s vysokoteplotními procesy a odolnost proti tepelné roztažnosti z něj činí nepostradatelný nástroj pro dosažení konzistentních a vysoce kvalitních výsledků zpracování waferů.