Ohřívače nitridu hliníku

Ohřívače nitridů v polomorech hliníku jsou nejmodernější keramické topné prvky určené pro aplikace, které vyžadují vysokou tepelnou vodivost, elektrickou izolaci a výjimečnou trvanlivost. Tyto ohřívače, které jsou navrženy z nitridové keramiky hliníku, poskytují rychlé a jednotné vytápění, což z nich činí ideální pro vysoce přesné prostředí, jako je polovodičové zpracování, lékařská diagnostika a pokročilá analytická instrumentace.

Ohřívače nitridů hliníku jsou klíčovými součástmi v polovodičovém zařízení pro depozice tenkého filmu. Jsou přímo aplikovány na procesní komoru a v přímém kontaktu s oplatkou. Nejen nosí oplatku, ale také zajišťují, že oplatka získá a 

stabilní a jednotná teplota procesu. Tato vlastnost je nezbytná pro vysoce přesné reakce na povrchu oplatky a generování jednotných tenkých filmů.

Ohřívače nitridů hliníku obvykle zahrnují keramický substrát s povrchem zatížení oplatky a válcovým podpůrným tělem, které jej podporuje na zádech. Kromě odporového topného obvodu pro zahřívání je uvnitř nebo na povrchu keramického substrátu také poskytována také elektroda RF a elektrostatická elektroda a další vodiče.

Depoziční zařízení tenkého filmu obvykle používá keramické materiály na základěHliníkový nitrid (ALN)protože to zahrnuje prostředí s vysokou teplotou. Důvod, proč jsou ohřívače nitridu hliníku upřednostňovány ve výrobě polovodičů, je způsoben hlavně jejich jedinečnými fyzikálními a chemickými vlastnostmi. Nitrid hliníku má nejen vysokou tepelnou vodivost a může dosáhnout rychlého vytápění a chlazení v krátké době, ale také má dobrou elektrickou izolaci a mechanickou pevnost, což zajišťuje stabilitu a spolehlivost topení. Kromě toho je koeficient tepelné roztažnosti nitridu hliníku podobný koeficitu křemíku, což pomáhá snížit dopad tepelného napětí na oplatku a zlepšit výnos procesu.

Obecně řečeno,keramické ohřívačese používají hlavně v zařízeních pro depozice tenkého filmu. Protože se jedná o vysokoteplotní procesy, použitý keramický materiál je hlavně hliník nitrid; Elektrostatické upínače se používají hlavně v leptání a použitým keramickým materiálem je hlavně oxid hliníku. S rozvojem polovodičové technologie dochází k překrývání mezi keramickými ohřívači a elektrostatickými upínami. Například keramické ohřívače používané v zařízeních pro depozice tenkých filmů jsou vybaveny elektrostatickými upínami, které mají dvojí funkce vysokoteplotního vytápění a elektrostatické adsorpce. Elektrostatické upínače používané v leptacích zařízeních také začínají zahrnovat procesy s vysokou teplotou a keramický materiál musí být změněn z oxidu hliníku na nitrid hlinitý.