Deep-UV LED epitaxní susceptor

Semicorex je velký výrobce a dodavatel grafitových susceptorů potažených karbidem křemíku v Číně. Již mnoho let jsme výrobcem a dodavatelem Deep-UV LED epitaxního susceptoru. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají většinu evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Deep-UV LED epitaxní susceptory jsou nezbytné pro výrobu LED. Destička potažená karbidem křemíku (SiC) Semicorex zefektivňuje výrobu vysoce kvalitních hlubokých UV LED waferů. SiC Coating je hustý povlak z karbidu křemíku (SiC) odolný proti opotřebení. Má vysokou odolnost proti korozi a teplu a také vynikající tepelnou vodivost. SiC nanášíme v tenkých vrstvách na grafit pomocí procesu chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Bez ohledu na to, jaké mohou být vaše specifické požadavky, identifikujeme nejlepší řešení pro MOCVD epitaxi, stejně jako pro průmysl polovodičů a LED.
Náš epitaxní susceptor Deep-UV LED je navržen tak, aby dosáhl nejlepšího laminárního vzoru proudění plynu a zajistil rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.
Kontaktujte nás ještě dnes, abyste se dozvěděli více o našem epitaxním susceptoru Deep-UV LED.

Parametry Deep-UV LED epitaxního susceptoru

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalická struktura	FCC Î² fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	Î¼m	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J·kg-1 ·K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300â)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti Deep-UV LED epitaxního susceptoru

- Nižší odchylka vlnové délky a vyšší výtěžnost čipu
- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.
- Užší rozměrové tolerance vedou k vyšší výtěžnosti produktu a nižším nákladům
- Zabraňte odlupování a zajistěte povlak na celém povrchu
Odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách: Stabilní při vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobeno chemickou depozicí z par CVD za podmínek chlorace při vysoké teplotě.
Odolnost proti korozi: vysoká tvrdost, hustý povrch a jemné částice.
Odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.