Monokrystalický křemíkový epitaxní susceptor

Semicorex ultračistý monokrystalický křemíkový epitaxní susceptor, perfektní pro grafitovou epitaxi a proces manipulace s plátky, zajišťuje minimální kontaminaci a poskytuje mimořádně dlouhou životnost. Naše produkty mají dobrou cenovou výhodu a pokrývají mnoho evropských a amerických trhů. Těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor je grafitový produkt potažený vysoce čištěným SiC, který má vysokou tepelnou odolnost a odolnost proti korozi. CVD nosič potažený karbidem křemíku používaný v procesech, které tvoří epitaxní vrstvu na polovodičových destičkách, který má vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.
Náš monokrystalický křemíkový epitaxní susceptor je navržen tak, aby dosahoval nejlepšího vzoru laminárního proudění plynu a zajistil rovnoměrnost tepelného profilu. To pomáhá předcházet jakékoli kontaminaci nebo difúzi nečistot a zajišťuje vysoce kvalitní epitaxní růst na waferovém čipu.
Kontaktujte nás ještě dnes a zjistěte více o našem monokrystalickém křemíkovém epitaxním susceptoru.

Parametry epitaxního susceptoru monokrystalického křemíku

Hlavní specifikace povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Krystalová struktura	FCC β fáze
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdost	Tvrdost podle Vickerse	2500
Velikost zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimace	℃	2700
Felexurální síla	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngův modul	Gpa (4pt ohyb, 1300℃)	430
Tepelná expanze (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivost	(W/mK)	300

Vlastnosti monokrystalického křemíkového epitaxního susceptoru

- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají dobrou hustotu a mohou hrát dobrou ochrannou roli ve vysokoteplotním a korozivním pracovním prostředí.
- Susceptor potažený karbidem křemíku používaný pro růst monokrystalů má velmi vysokou rovinnost povrchu.
- Snižte rozdíl v koeficientu tepelné roztažnosti mezi grafitovým substrátem a vrstvou karbidu křemíku, účinně zlepšujte pevnost spojení, aby se zabránilo praskání a delaminaci.
- Grafitový substrát i vrstva karbidu křemíku mají vysokou tepelnou vodivost a vynikající vlastnosti distribuce tepla.
- Vysoký bod tání, odolnost proti oxidaci při vysokých teplotách, odolnost proti korozi.