Monokrystalický křemíkový epi susceptor

Monokrystalový křemíkový epi susceptor je nezbytnou součástí navrženou pro procesy epitaxe Si-GaN, kterou lze přizpůsobit individualizovaným specifikacím a preferencím, a poskytuje tak řešení na míru, které dokonale odpovídá konkrétním požadavkům. Ať už to znamená úpravy rozměrů nebo úpravy tloušťky povlaku, máme schopnost navrhnout a dodat produkt, který vyhovuje různým procesním parametrům, čímž optimalizujeme výkon pro cílené aplikace. Závazek společnosti Semicorex poskytovat špičkovou kvalitu na trhu ve spojení s konkurenčními fiskálními ohledy posiluje naši touhu navázat partnerství při plnění požadavků na přepravu vašich polovodičových plátků.

Odeslat dotaz

Popis výrobku

Susceptory při zpracování epitaxního růstu vyžadují schopnost odolávat zvýšeným teplotám a vydržet přísné chemické čisticí postupy. Monokrystalový křemíkový epi susceptor byl pečlivě zkonstruován tak, aby přesně vyhovoval těmto náročným požadavkům, se kterými se setkáváme v aplikacích epitaxních zařízení.

Tyto susceptory se mohou pochlubit konstrukcí obsahující grafit potažený vysoce čistým karbidem křemíku (SiC), který propůjčuje nesrovnatelnou odolnost vůči teplu a zajišťuje rovnoměrné rozložení tepla pro konzistentní tloušťku a odolnost epitaxní vrstvy.

Monokrystalový křemíkový epi susceptor navíc vykazuje pozoruhodnou odolnost vůči agresivním chemickým čisticím prostředkům. Použití jemného krystalického povlaku SiC dále přispívá k nedotčenému, hladkému povrchu, který má prvořadý význam pro efektivní manipulaci, protože neposkvrněné plátky přicházejí do kontaktu se susceptorem na mnoha místech po celé své ploše.

Použití monokrystalického křemíkového epi susceptoru zajišťuje neochvějnou spolehlivost a prodlouženou životnost, snižuje potřebu častých výměn a následně minimalizuje prostoje a náklady na údržbu. Jeho robustní konstrukce a výjimečné provozní schopnosti významně přispívají ke zvýšené efektivitě procesu a v konečném důsledku zvyšují produktivitu a efektivitu nákladů v oblasti operací výroby polovodičů.