Výroba polovodičů, základní kámen moderního technologického pokroku, neustále usiluje o menší, rychlejší a účinnější integrované obvody. Toto neúnavné úsilí vede k potřebě stále přesnějších a sofistikovanějších výrobních procesů, kde každý krok do značné míry závisí na vysoce výkonném, vysoce kvalit......
Přečtěte si víceElektrostatické upínače (ESC) se staly nepostradatelnými při výrobě polovodičů a plochých displejů, které nabízejí bez poškození, vysoce ovladatelnou metodu pro držení a umístění jemných plátků a substrátů během kritických kroků zpracování. Tento článek se ponoří do spletitosti technologie ESC, zkou......
Přečtěte si víceVývoj 3C-SiC, významného polytypu karbidu křemíku, odráží neustálý pokrok ve vědě o polovodičových materiálech. V 80. letech Nishino a spol. nejprve dosáhl 4 μm tlustého 3C-SiC filmu na křemíkovém substrátu pomocí chemické depozice z plynné fáze (CVD)[1], čímž byl položen základ pro technologii tenk......
Přečtěte si více