Suché leptání je hlavní technologií ve výrobních procesech mikro-elektro-mechanických systémů. Výkon procesu suchého leptání má přímý vliv na konstrukční přesnost a provozní výkon polovodičových součástek. Pro přesné řízení procesu leptání je třeba věnovat velkou pozornost následujícím základním par......
Přečtěte si víceAerostatická kluzná dráha z karbidu křemíku je pokročilý systém vodicích drah, který kombinuje materiálové vlastnosti karbidu křemíku a aerostatické technologie. Aerostatická kluzná dráha z karbidu křemíku, která je optimálním řešením pro vysoce přesné, vysoce spolehlivé a dlouhodobé pohybové systém......
Přečtěte si víceHlavní metodou přípravy monokrystalů karbidu křemíku je metoda fyzikálního přenosu páry (PVT). Tato metoda sestává hlavně z dutiny křemenné trubice, topného prvku (indukční cívky nebo grafitového ohřívače), izolačního materiálu z grafitové uhlíkové plsti, grafitového kelímku, zárodečného krystalu ka......
Přečtěte si víceSOI, zkratka pro Silicon-On-Insulator, je proces výroby polovodičů založený na speciálních substrátových materiálech. Od své industrializace v 80. letech se tato technologie stala důležitým odvětvím pokročilých procesů výroby polovodičů. Proces SOI, který se vyznačuje jedinečnou třívrstvou kompozitn......
Přečtěte si víceElektrostatické sklíčidlo přebírá několik funkcí, jako je rovnoměrný elektrostatický výboj, vedení tepla a adsorpce a fixace plátků v oblasti výroby polovodičů. Jednou ze základních funkcí ESC je stabilně adsorbovat wafery za extrémních provozních podmínek, jako je vysoké vakuum, silná plazma a širo......
Přečtěte si více