Přesné keramické díly jsou klíčovými součástmi základních zařízení v klíčových procesech polovodičové výroby, jako je fotolitografie, leptání, depozice tenkých filmů, implantace iontů, CMP atd., Jako jsou ložiska, vložky, elektrostatické upínače, ramene mechanického manipulace atd. Atd.
Přečtěte si víceV procesu front-end (FEOL) polovodičové výroby musí být oplatka podrobena různým procesům procesu, zejména oplatka musí být zahřívána na určitou teplotu a existují přísné požadavky, protože uniformita teploty má velmi důležitý dopad na výnos produktu; Zároveň musí polovodičové vybavení pracovat v př......
Přečtěte si více