Planetární susceptor

SEMICOREX PLANETARY SESPEPTOR je nepostradatelnou součástí pro polovodičové epitaxní reaktory, speciálně vytvořené pro zařízení Aixtron G5+. Postaveno z grafitu s vysokou čistotou aPotažený křemíkovým karbidem (SIC), tento susceptor zaručuje vynikající tepelnou stabilitu, výjimečnou chemickou odolnost a bezkonkurenční výkon ve vysokoteplotním prostředí.

Reaktor Aixtron G5+ Epitaxy je měřítkem v oboru pro GAN, SIC a další procesy růstu polovodiče. Planetární susceptor je klíčový při optimalizaci průtoku plynu, zajišťuje přesnou rotaci oplatky, udržuje přesnou regulaci teploty a dosahuje jednotné depozice epitaxiálních vrstev. Jeho inovativní design výrazně zvyšuje opakovatelnost procesu, což z něj činí ideální volbu pro prostředí s vysokým objemem.

Klíčové funkce  

- Pokročilé složení materiálu: Vyrobeno z vysoce čistého grafitu s povlakem SIC, což poskytuje zvýšenou trvanlivost a odpor vůči drsným procesům procesu.  

- Optimalizovaný tepelný výkon: Zajišťuje rovnoměrné rozdělení tepla, kritické pro růst epitaxiální vrstvy s vysokou přesností.  

- Chemická odolnost: Potahování SIC zabraňuje oxidaci grafitu, prodlouží životnost susceptoru a udržuje čistotu procesu.  

- Precision Engineering: Navrženo tak, aby splňovalo přísné požadavky systémů Aixtron G5+, což zajišťuje bezproblémovou integraci a optimální účinnost reaktoru.  

- Vysoká povrchová uniformita: Minimalizuje kontaminaci částic, podporuje kvalitní kvalitu oplatky a vyšší výnos ve výrobě polovodičů.  

Výhody našeho planetárního susceptoru  

- Prodloužená životnost:Sic povlakVýznamně snižuje opotřebení, což má za následek nižší frekvenci náhrady a snížené provozní náklady.  

- Vylepšená stabilita procesu: Zajišťuje konzistentní vytápění a minimální tepelné gradienty, což vede k vysoce kvalitní produkci oplatky.  

- Kompatibilita a přizpůsobení: Dostupné ve standardních a přizpůsobených návrzích tak, aby splňovaly specifické požadavky na proces Aixtron G5+.  

GrafitDíly hrají v polovodičovém procesu nepostradatelnou a velmi důležitou roli. Kvalita grafitových materiálů má velký dopad na kvalitu hotových výrobků. Naše grafitová dávková konzistence a homogenita materiálu lze ovládat a zaručit prostřednictvím výrobního procesu.

1. Produkce malé dávky, karbonizační pec používá pouze malou pec s pouhými 50 kubickými metry

2. každý kus materiálu je monitorován a sledován

3. vícebodové monitorování teploty v prostoru pece, aby bylo zajištěno, že teplotní rozdíl je ve velmi malém rozsahu udržován

4. Monitorování teploty s více body na materiálu, aby bylo zajištěno, že teplotní rozdíl je ve velmi malém rozsahu

SEMICOREX PLANETARY SESPESPOR je prémiovým řešením pro reaktory Aixtron G5+, který nabízí vynikající tepelnou stabilitu, chemickou odolnost a přesný výkon. Nakonstruováno pro nejnáročnější výrobní procesy polovodičů a řídí vyšší výnosy oplatky, minimalizuje riziko kontaminace a prodlužuje životnost vybavení. Upgradujte svůj systém epitaxy s nejvyšším susceptorem pro bezkonkurenční výsledky.