Většina výrobců SiC substrátů v současnosti používá konstrukci kelímku, který zahrnuje porézní grafitový válec pro proces horkého pole. Proces zahrnuje umístění vysoce čistých částic SiC mezi stěnu grafitového kelímku a porézní grafitový válec, přičemž se kelímek prohlubuje a zvětšuje jeho průměr. Tím se zvětší odpařovací plocha suroviny a zároveň se zvýší objem vsázky.
Nový proces řeší problém krystalických defektů, které vznikají v důsledku rekrystalizace horní části suroviny při růstu povrchu výchozího materiálu, což ovlivňuje tok sublimovaného materiálu. Nový proces navíc snižuje citlivost rozložení teploty v oblasti suroviny na růst krystalů, stabilizuje účinnost přenosu hmoty, snižuje vliv uhlíkových inkluzí v pozdní fázi růstu a dále zlepšuje kvalitu krystalů SiC. Kromě toho nový proces využívá metodu fixace bezsemenného krystalového tácku, která se nelepí na zárodečné krystaly, čímž uvolňuje tepelnou expanzi a usnadňuje uvolnění napětí. Tento nový proces optimalizuje tepelné pole a výrazně zlepšuje účinnost expanze.
Je důležité poznamenat, že kvalita a výtěžnost monokrystalů SiC získaných tímto novým procesem silně závisí na fyzikálních vlastnostech grafitu v kelímku a porézního grafitu. Nabídka na trhu je však v současné době vzhledem k rostoucí poptávce velmi krátká.
Klíčové vlastnosti porézního grafitu:
vhodná distribuce velikosti pórů;
Dostatečně vysoká pórovitost;
Mechanické pro splnění požadavků na zpracování a použití.
Semicorex nabízí přizpůsobené vysoce kvalitní produkty z porézního grafitu podle vašich požadavků.
Semicorex porézní uhlík, je pokročilý vysoce čistý materiál na zpracování polovodičů. Toto klíčové zařízení hraje klíčovou roli v procesu růstu monokrystalu SiC. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex porézní grafitové materiály pro růstové aplikace monokrystalu SiC jsou speciálním materiálem používaným při zpracování polovodičů. Toto klíčové zařízení hraje klíčovou roli v kvalitě monokrystalu SiC. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz