Křemenná nádrž na kapalinu

Skladovací nádrž na kapalinu Semicorex Quartz je kontejner pro účely pro polovodičové mokré čisté aplikace, kde manipulace s kapalinou vyžaduje mimořádnou úroveň čistoty a stability materiálů. Především se tato nádrž používá pro sběr odpadu nebo zbytkových kapalin z aplikací čištění oplatky. Je to neocenitelné pro produktivitu procesu a kontrolu kontaminace. Během mokrého čistého procesu zahrnuje oplachování polovodičů oplachování velkých objemů ultrapurové vody nebo chemických činidel, která se na konci opláchnutí stávají odpadní kapalinou. Kromě toho musí být zbytková kapalina po oplachování shromažďována, protože má potenciální stopové nečistoty nebo cenné chemické složky, které nesmí snižovat odtok. Odpadní kapalina musí být také shromažďována, když se provádějí kroky povlaku, jako jsou fotorezistické aplikace, kde je třeba shromáždit další zbytky nebo odpadní chemikálie. Křemenná kapalná nádrž má tedy perfektní výstupy pro poskytování vysoké čistoty, chemické kompatibility a nízkých kontaminačních vlastností.

Nádrž je vyrobena z vysoce čistoty fúzovaného křemene, který je velmi odolný vůči silným kyselinám, alkalisům a rozpouštědům pravidelně používaným při čištění polovodičů a litografii. Ať už konvenční nádoba, křemen dává kusy kapalné materiály nejlepší šanci na žádnou expozici sekundárního kontaminantů, vyluhování nebo nežádoucí expozice iontů. Jedním z předních aspektů nádrže na kapalinu křemenné je schopnost podporovat analytické pracovní postupy v polovodičových Fabs, protože zbytkové kapaliny shromážděné v křemenném nádobě mohou být použity v následných procesech, jako je detekce nečistot, analýza kontaminace a chemická receptování. Vlastnosti vlastností křemene, může bezpečně obsahovat zbytkové tekutiny a umožnit vizuální hodnocení bez rizika interakce vzhledem k jeho inertnosti a transparentnosti, kromě jeho tepelné stability, což umožňuje, aby byla jakákoli tekutina v nádrži mírně urychlena na jakoukoli procesní teplotu bez rizika degradace nebo ovlivňování tekutiny. To znamená, že křemenná kapalná skladovací nádrž je navržena jak pro sběr odpadu, tak pro krátkodobé skladování, než budou přeneseny nebo ošetřeny.

Každý detail záležitostí řízení kontaminace procesu, zejména proto, že se uzly pokročilé výroby zařízení zmenšují a parametry čistoty se stávají přísnějšími. Křemenná kapalinová skladovací nádrž zaručuje, že operátoři Fab jsou přesvědčeni, že nakládání s odpady se nestane zdrojem sekundární kontaminace. Obsažením zbytkových čisticích roztoků nebo nadbytečných procesů procesních kapalin zabraňuje platnému dopadu pracovních postupů proti proudu a po proudu. Kromě toho nádrž podporuje cíle udržitelnosti FAB, protože shromážděné kapaliny mohou být zpracovány pro čištění a opětovné použití činidla, čímž se používá další méně chemicky náročný proces a má za následek menší zatížení životního prostředí.

Z praktického hlediska umožňuje návrh nádrže na kapalinu křemenné kapaliny snadno začlenit do systémů hardwaru a chemického řízení mokrého čištění. Faktorový faktor lze přizpůsobit existující konfiguraci nástrojů. Metody Precision Fabrication Metody zajišťují kulaté rozměry a aby hladký vnitřní povrch snadno přepravoval a uložil všechny tekutiny ve vašem polovodičovém prostředí. Neporézní křemenná struktura zabrání absorpci kontaminantů a umožní čištění nádrže, díky čemuž je schopna opětovné použití, na rozdíl od konvenčních plastových nádob pracujících v chemicky kontrolovaných prostředích při významných objemových operacích.

Sečteno a podtrženo, křemenná kapalina akumulační nádrž je speciálně navržena pro důležitost ve všech polovodičových mokrých čištění a povlak. Vytvořením nejlepší možné čistoty materiálu, chemické odolnosti a bez kontaminace kapaliny v polovodičovém operačním zařízení jsou FABS schopny účinně ovládat svůj proces s malým až žádným přístupem kontaminace. Ať už Fab používá nádrž k přijímání přímého sběru odpadu, pro zotavení činidla atd., Nebo pro analýzu nečistot, historie kritických kroků v procesu zůstává v původním stavu bez ohrožení provozu. Když se snažíte maximalizovat výnos, minimalizujte riziko pro váš pracovní proces na ztrátu stability a maximalizovat účinnost chemické řízení vedlejších produktů, bez kontaminace je jedinou volbou, která nabízí spolehlivý výkon se všemi mokré čištění.