Quartz Tank pro mokré zpracování

Quartz Tank pro mokré zpracování, vyrobený z polovodičového křemene, nabízí výjimečnou odolnost a nereaktivitu vůči řadě chemických látek včetně kyseliny sírové (H2SO4), peroxidu vodíku (H2O2) a standardních čistých roztoků (SC1).

Jednou z primárních aplikací Quartz Tank pro mokré zpracování při výrobě waferů je čištění waferů. Během různých výrobních kroků mohou být destičky maskovány pro leptání specifických částí nebo pro omezení difúze na určené oblasti. Jakmile je určitý procesní krok dokončen, musí být maskovací materiál důkladně vyčištěn, aby se plátek připravil na další krok. Zásadní roli v tomto čisticím procesu hraje křemenná nádrž pro mokré zpracování, která zajišťuje účinné čištění plátků bez zanechání jakýchkoli zbytků nebo částic, které by mohly kontaminovat následné zpracovatelské kroky.

Schopnost Quartz the Tank pro mokré zpracování odolávat agresivním chemikáliím je prvořadá v aplikacích pro mokré zpracování. Tyto nádrže jsou navrženy tak, aby vydržely drsné chemikálie používané v procesech leptání a čištění, aniž by s nimi reagovaly. Tato nereaktivita zajišťuje, že chemikálie zůstávají účinné a nedochází k nežádoucím chemickým reakcím, které by mohly narušit integritu destiček.

Při čištění destiček je nezbytné minimalizovat kontaminaci destiček částicemi. Semicorex Quartz Tank pro mokré zpracování je zkonstruován tak, aby snižoval riziko kontaminace a zajistilo důkladné a účinné čištění plátků. Naše křemenné nádrže mohou být dodávány ve vyhřívaných a recirkulačních modelech, které umožňují přesnou regulaci teploty a nepřetržitou cirkulaci čisticích roztoků.

Další kritickou vlastností Semicorex Quartz Tank pro mokré zpracování je vysoká tepelná odolnost. Tyto nádrže mohou pracovat při teplotách až 190 °C, což je vhodné pro procesy, které zahrnují ohřev čisticích nebo leptacích roztoků. Vysoký tepelný odpor zajišťuje, že nádrže si udrží svou strukturální integritu a výkon i při zvýšených teplotách. To je zvláště důležité v procesech, kde je kontrola teploty zásadní pro dosažení požadovaných výsledků.

Quartz Tank pro mokré zpracování také vykazuje nízkou tepelnou roztažnost a vysokou odolnost proti tepelným šokům. Nízká tepelná roztažnost minimalizuje riziko popraskání nebo deformace v důsledku kolísání teplot a zajišťuje tak dlouhou životnost a spolehlivost nádrží. Vysoká odolnost proti tepelným šokům umožňuje křemenným nádržím odolávat rychlým změnám teploty, aniž by byla ohrožena jejich strukturální integrita. Tyto tepelné vlastnosti jsou zásadní pro zachování přesnosti a spolehlivosti kroků mokrého zpracování při výrobě plátků.

Vysoká transparentnost je další výhodou Semicorex Quartz Tank pro mokré zpracování. Průhlednost křemenného materiálu umožňuje vizuální kontrolu plátků a čisticích nebo leptacích roztoků během zpracování. Tato viditelnost zlepšuje řízení a monitorování procesů a zajišťuje, že jakékoli problémy mohou být okamžitě detekovány a řešeny. Schopnost vizuálně sledovat proces je zvláště důležitá pro zajištění kvality a konzistence kroků čištění a leptání plátků.

Ve společnosti Semicorex používáme pokročilou technologii obrábění k výrobě vysoce kvalitních křemenných nádrží pro mokré zpracování. Naše výrobní možnosti zahrnují diamantový kotouč a řezání laserem na míru, což zajišťuje přesné rozměry a vysoce kvalitní povrchovou úpravu. Používáme také vysoce leštěné povrchy, abychom minimalizovali riziko tvorby částic a kontaminace. Naši zkušení křemenní svářeči a strojníci vytvářejí vysoce čisté křemenné nádrže s vysoce pevnými svařovanými vstupy a držáky sond, přizpůsobené specifickým potřebám našich zákazníků.

Abychom zvýšili výkon a odolnost Quartz Tank pro mokré zpracování, žíháme je, abychom zmírnili tepelné namáhání. Žíhání je proces tepelného zpracování, který snižuje vnitřní pnutí v křemenném materiálu, zlepšuje jeho odolnost proti tepelným šokům a zvyšuje jeho celkovou životnost.

Vlastní velikosti a konfigurace jsou nezbytné pro splnění různých požadavků procesů výroby polovodičů. Ve společnosti Semicorex nabízíme širokou škálu vlastních velikostí a konfigurací pro naše quartzové nádrže, což nám umožňuje poskytovat řešení šitá na míru specifickým potřebám našich zákazníků. Ať už se jedná o přidání vysoce pevných svařovaných křemenných vtoků, držáků sond nebo jiných vlastních funkcí, úzce spolupracujeme s našimi klienty na dodávání křemenných nádrží, které splňují jejich přesné specifikace.