Lodě z křemenných oplatek

Lodě z křemenných plátkůjsou přesné nosiče vyrobené z vysoce čistého křemene používaného k držení a zajištěníoplatkyjsou přesné nosiče vyrobené z vysoce čistého křemene používaného k držení a zajištění

Lodičky z křemenných plátků jsou přesně opracovány do specifických tvarů a rozměrů, což má za následek vynikající kompatibilitu s širokou škálou zařízení pro zpracování polovodičů. Jejich precizně navržené vnitřní štěrbiny a optimalizovaná konstrukce splňují přísné požadavky procesů výroby waferů na přesnost vrubů, rovnoběžnost a kolmost, čímž účinně snižují riziko fyzického poškození waferů.

Křemenný materiál vybraný společností Semicorex má čistotu ≥99,995 % a extrémně nízký obsah nečistot, což může splnit přísné požadavky na čistotu klíčových procesů v pracovním toku výroby polovodičů a účinně zabránit kontaminaci plátků.

Tento vysoce čistý křemen vykazuje vynikající vlastnosti, jako je vynikající odolnost vůči vysokým teplotám, nízký koeficient tepelné roztažnosti a silná chemická stabilita, které mu umožňují přizpůsobit se složitým procesním požadavkům výroby polovodičů. Může stabilně a dlouhodobě fungovat ve vysokoteplotním prostředí kolem 1200 °C, přičemž splňuje požadavky procesů, jako je difúze polovodičů, oxidace, žíhání a vysokoteplotní difúze fotovoltaických článků, což zajišťuje, že destičky nebo křemíkové destičky nebudou poškozeny deformací nebo roztavením při vysokoteplotním zpracování.

Jeho silná chemická stabilita způsobuje, že je nepravděpodobné, že by reagoval s plyny používanými v polovodičových procesech nebo chemickými činidly používanými ve fotovoltaické výrobě, a neuvolňuje nečistoty, což zajišťuje vysokou úroveň čistoty ve výrobním prostředí, zaručuje čistotu produktu a zajišťuje stabilitu procesu.