Vertikální křemenné oplatkové čluny

V procesech výroby polovodičů musí polovodičové součástky v reakční komoře splňovat přísné standardy vysoké čistoty. V opačném případě mohou i nečistoty nebo kontaminanty v mikroměřítku nebo nanoměřítku způsobit nevratné poškození výkonu a výtěžnosti polovodičových zařízení.

Lodě z křemenných plátkůjsou běžně instalovány vertikálně ve vysokoteplotních reakčních komorách, jako jsou difuzní pece, oxidační pece a žíhací pece, kde musí být v přímém kontaktu s plátky. Vertikální křemenné čluny Semicorex jsou vyráběny z vysoce čistých křemenných materiálů, které splňují tyto požadavky na vysokou čistotu. Tento moudrý výběr materiálu účinně zabraňuje kontaminaci plátků způsobené reaktanty uvolněnými z plátků během výrobního procesu.

Při výrobě polovodičů se vyžaduje, aby waferové čluny nejen podstoupily opakované cykly zahřívání a chlazení, ale také odolávaly korozi procesních plynů po delší dobu. Vertikální křemen Semicorexoplatkačluny vykazují výjimečnou rozměrovou stabilitu v náročných provozních podmínkách konstantního tepelného cyklování kvůli jejich přirozené tepelné stabilitě. Tyto vynikající tepelné vlastnosti významně zabraňují deformaci plátků a poškození způsobenému degradací přesnosti nebo strukturální deformací vertikálních člunů z křemenných plátků. A co víc, díky své vysoké chemické inertnosti mohou být vertikální křemenné čluny odolné vůči reakci s korozivními plyny, jako je kyslík, vodní pára, chlorovodík a čpavek. Tato vlastnost výrazně snižuje možnost, že chemická koroze naruší strukturální integritu vertikálních člunů z křemenných plátků.

Kromě výše zmíněných výkonnostních výhod prokazují vertikální křemenné čluny Semicorex také vynikající konkurenceschopnost v rozměrové přesnosti a konstrukčním návrhu. Každá jejich část je vyrobena technikou přesného obrábění. Tato přesná kontrola rozměrů zajišťuje přesné umístění plátků, minimalizuje škrábance a praskliny způsobené přemístěním nebo kolizemi během nakládání, zpracování a vykládání.