Loď na žíhání křemíku

Ultra vysoká čistota pro nedotčená zpracovatelská prostředí: Semicorex Silicon Annealing Boat, vyrobený z křemíku ultra vysoké čistoty (čistota až 13N), minimalizuje riziko kontaminace během vysokoteplotního zpracování. Tato výjimečná čistota zajišťuje, že wafery jsou vystaveny nedotčenému prostředí, což zabraňuje vnášení nežádoucích nečistot, které mohou snížit výkon zařízení a snížit výtěžnost.

Snížený kontakt plátku pro minimalizaci poškození:Hladký, leštěný povrch Silicon Annealing Boat minimalizuje kontaktní body s wafery, čímž výrazně snižuje riziko poškrábání, odštípnutí nebo jiného mechanického poškození během přepravy a zpracování. Tato pečlivá manipulace zachovává integritu destiček, zlepšuje celkový výtěžek procesu a přispívá k vyšší kvalitě zařízení.

Přizpůsobitelné návrhy pro optimalizovaný výkon: Konstrukce člunů na žíhání křemíku lze upravit tak, aby splňovaly specifické požadavky procesu, včetně variací ve tvaru člunu, délce, úhlu a počtu opěrných zubů plátků. Toto přizpůsobení umožňuje optimalizaci dynamiky proudění plynu, rovnoměrnosti teploty a rozmístění plátků v peci a zajišťuje konzistentní a opakovatelné výsledky zpracování pro širokou škálu geometrií zařízení a procesních parametrů.

Vysoký limit depozice polysilikonu pro prodloužený provoz:Člun na žíhání křemíku představuje vysokou toleranci pro usazování polysilikonu, což umožňuje delší provoz, než je nutné čištění nebo výměna. Tato prodloužená životnost snižuje prostoje zařízení spojené s údržbou, což přispívá ke zvýšení výrobní kapacity a snížení celkových výrobních nákladů.