Povlak SiC je tenká vrstva na susceptoru prostřednictvím procesu chemické depozice z plynné fáze (CVD). Materiál z karbidu křemíku poskytuje oproti křemíku řadu výhod, včetně 10x vyšší intenzity průrazného elektrického pole, 3x šířky zakázaného pásu, což poskytuje materiálu vysokou teplotní a chemickou odolnost, vynikající odolnost proti opotřebení a tepelnou vodivost.
Semicorex poskytuje přizpůsobené služby, pomáhá vám inovovat komponenty, které vydrží déle, zkracují doby cyklů a zvyšují výnosy.
Povlak SiC má několik jedinečných výhod
Odolnost vůči vysokým teplotám: Susceptor potažený CVD SiC může odolat vysokým teplotám až 1600 °C, aniž by podstoupil významnou tepelnou degradaci.
Chemická odolnost: Povlak z karbidu křemíku poskytuje vynikající odolnost vůči široké škále chemikálií, včetně kyselin, zásad a organických rozpouštědel.
Odolnost proti opotřebení: Povlak SiC poskytuje materiálu vynikající odolnost proti opotřebení, takže je vhodný pro aplikace, které zahrnují vysoké opotřebení.
Tepelná vodivost: Povlak CVD SiC poskytuje materiálu vysokou tepelnou vodivost, díky čemuž je vhodný pro použití ve vysokoteplotních aplikacích, které vyžadují účinný přenos tepla.
Vysoká pevnost a tuhost: Susceptor potažený karbidem křemíku poskytuje materiálu vysokou pevnost a tuhost, takže je vhodný pro aplikace, které vyžadují vysokou mechanickou pevnost.
SiC povlak se používá v různých aplikacích
Výroba LED: Susceptor potažený CVD SiC se používá při výrobě zpracovaných různých typů LED, včetně modré a zelené LED, UV LED a hlubokého UV LED, díky své vysoké tepelné vodivosti a chemické odolnosti.
Mobilní komunikace: CVD SiC potažený susceptor je klíčovou součástí HEMT pro dokončení epitaxního procesu GaN-on-SiC.
Zpracování polovodičů: Susceptor potažený CVD SiC se používá v polovodičovém průmyslu pro různé aplikace, včetně zpracování plátků a epitaxního růstu.
Grafitové komponenty potažené SiC
Vyrobeno z grafitu Silicon Carbide Coating (SiC), povlak je aplikován metodou CVD na konkrétní druhy grafitu s vysokou hustotou, takže může pracovat ve vysokoteplotní peci s více než 3000 °C v inertní atmosféře, 2200 °C ve vakuu .
Speciální vlastnosti a nízká hmotnost materiálu umožňují vysokou rychlost ohřevu, rovnoměrné rozložení teploty a vynikající přesnost ovládání.
Materiálové údaje Semicorex SiC Coating
|
Typické vlastnosti |
Jednotky |
Hodnoty |
|
Struktura |
|
FCC β fáze |
|
Orientace |
zlomek (%) |
111 přednostně |
|
Objemová hmotnost |
g/cm³ |
3.21 |
|
Tvrdost |
Tvrdost podle Vickerse |
2500 |
|
Tepelná kapacita |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
Tepelná roztažnost 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Youngův modul |
Gpa (4pt ohyb, 1300℃) |
430 |
|
Velikost zrna |
μm |
2~10 |
|
Teplota sublimace |
℃ |
2700 |
|
Felexurální síla |
MPa (RT 4-bodové) |
415 |
|
Tepelná vodivost |
(W/mK) |
300 |
Závěr CVD SiC potažený susceptor je kompozitní materiál, který kombinuje vlastnosti susceptoru a karbidu křemíku. Tento materiál má jedinečné vlastnosti, včetně vysoké teplotní a chemické odolnosti, vynikající odolnosti proti opotřebení, vysoké tepelné vodivosti a vysoké pevnosti a tuhosti. Tyto vlastnosti z něj činí atraktivní materiál pro různé vysokoteplotní aplikace, včetně zpracování polovodičů, chemického zpracování, tepelného zpracování, výroby solárních článků a výroby LED.
Spolehlivost a vynikající výkon Semicorex SiC Boat for Solar Cell Diffusion pramení z jejich schopnosti konzistentně dodávat v náročných podmínkách výroby solárních článků. Vysoce kvalitní materiálové vlastnosti SiC zajišťují, že tyto čluny fungují optimálně v širokém rozsahu provozních podmínek, což přispívá ke stabilní a efektivní výrobě solárních článků. Mezi jejich výkonnostní atributy patří vynikající mechanická pevnost, tepelná stabilita a odolnost vůči environmentálním stresorům, díky čemuž je SiC Boat for Solar Cell Diffusion nepostradatelným nástrojem ve fotovoltaickém průmyslu.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck je precizně zkonstruovaný držák substrátu navržený speciálně pro manipulaci a zpracování nitridu galia na křemíkových epitaxních waferech. Semicorex se zavázal poskytovat kvalitní produkty za konkurenceschopné ceny, těšíme se, že se staneme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex SiC Wafer Susceptors pro MOCVD jsou vzorem přesnosti a inovace, speciálně vytvořené pro usnadnění epitaxní depozice polovodičových materiálů na wafery. Vynikající materiálové vlastnosti desek jim umožňují odolat přísným podmínkám epitaxního růstu, včetně vysokých teplot a korozivního prostředí, což je činí nepostradatelnými pro vysoce přesnou výrobu polovodičů. My v Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných SiC Wafer Susceptorů pro MOCVD, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.
Přečtěte si víceOdeslat dotazNosiče plátků Semicorex s povlakem SiC, nedílnou součástí systému epitaxního růstu, se vyznačují mimořádnou čistotou, odolností vůči extrémním teplotám a robustními těsnícími vlastnostmi, které slouží jako zásobník, který je nezbytný pro podporu a ohřev polovodičových plátků během kritická fáze nanášení epitaxní vrstvy, čímž se optimalizuje celkový výkon procesu MOCVD. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných nosičů plátků s povlakem SiC, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex GaN Epitaxy Carrier je klíčový ve výrobě polovodičů, integruje pokročilé materiály a přesné inženýrství. Tento nosič, který se vyznačuje povlakem CVD SiC, nabízí výjimečnou odolnost, tepelnou účinnost a ochranné schopnosti a etabloval se jako špička v tomto odvětví. My v Semicorex se věnujeme výrobě a dodávání vysoce výkonných GaN Epitaxy Carrier, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.
Přečtěte si víceOdeslat dotazSemicorex SiC-coated Wafer Disc představuje přední pokrok v technologii výroby polovodičů a hraje zásadní roli ve složitém procesu výroby polovodičů. Tento disk, navržený s pečlivou přesností, je vyroben z prvotřídního grafitu potaženého SiC a poskytuje vynikající výkon a odolnost pro aplikace křemíkové epitaxe. My ve společnosti Semicorex se věnujeme výrobě a dodávkám vysoce výkonných destiček potažených SiC, které spojují kvalitu s nákladovou efektivitou.
Přečtěte si víceOdeslat dotaz